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申请/专利权人：索泰克公司
摘要：本发明涉及一种制造用于将压电层转移至支承基板的供体基板的方法，该方法包括以下步骤：提供处理基板，特别是硅基基板；提供压电基板；在处理基板或压电基板上淀积聚合物层；在压电基板的自由表面上形成中间层；按照使得形成在压电基板上的中间层被夹在聚合物层与压电基板之间的方式将压电基板组装在处理基板上，以形成供体基板。本发明还涉及通过这种方法制造的供体基板以及使用这种供体基板转移压电层的方法。
主权项：1.一种制造用于将压电层转移至支承基板的供体基板128、138、144的方法，所述方法包括以下步骤：-提供处理基板100，特别是硅基基板，-提供压电基板106，-在所述压电基板106的自由表面上形成中间层108，-在所述压电基板106的所述中间层108上淀积聚合物层104，以及将所述压电基板106组装在所述处理基板100上，以形成所述供体基板128、138、144。
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权利要求：
百度查询： 索泰克公司 制造用于转移压电层的供体基板的方法和将压电层转移至支承基板的方法
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