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一种针刺巨量转移方法及设备 

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申请/专利权人:东莞普莱信智能技术有限公司

摘要:本发明提供一种针刺巨量转移方法及设备,属于半导体制造设备技术领域,该方法包括如下步骤:对生产使用的基板进行识别,获取基板上所有焊盘的位置数据;对生产使用的圆晶盘进行识别,获取圆晶盘上所有芯片的位置数据;基于焊盘的位置数据和芯片的位置数据,通过控制算法设计基板、圆晶盘和刺针的运动参数;驱动刺针、基板、圆晶盘运动,通过针刺方式将芯片从圆晶盘上剥离,并压合焊接在基板的焊盘上;对焊盘上焊有芯片的基板进行图像样本采集,通过视觉算法捕捉基板上的异常生产位置数据,进行精度验证。该设备内置控制算法和视觉算法。本发明提高了缺陷的识别率,以及刺晶固晶的效率。

主权项:1.一种针刺巨量转移方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤S1:对生产使用的基板进行识别,获取基板上所有焊盘的位置数据;对生产使用的圆晶盘进行识别,获取圆晶盘上所有芯片的位置数据;步骤S2:基于焊盘的位置数据和芯片的位置数据,设计基板、圆晶盘和刺针的运动参数;步骤S3:驱动刺针、基板、圆晶盘运动,通过针刺方式将芯片从圆晶盘上剥离,并压合焊接在基板的焊盘上;步骤S4:对焊盘上焊有芯片的基板进行图像样本采集,通过视觉算法捕捉基板上的异常生产位置数据,进行精度验证。

全文数据:

权利要求:

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