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申请/专利权人：广州力及热管理科技有限公司
摘要：一种带有散热鳍片的三维蒸气腔元件的制作方法，包含以下步骤：提供一具有三维结构的上盖，上盖包含基板以及管体，基板具有基板空腔以及上内表面，并且管体具有管体空腔、管体内表面以及冷凝端；提供一下盖，下盖匹配上盖并且具有下内表面；提供一散热鳍片设置于管体的冷凝端上并且进行第一烧结制程，以使散热鳍片耦接于管体的冷凝端上；形成一多孔隙毛细结构于上内表面、管体内表面以及下内表面上；接合上盖以及下盖，以使管体空腔以及基板空腔形成密闭气腔；以及设置一工作流体于密闭气腔中，并使密闭气腔中的压力小于一大气压；由此，本发明中方法制作得到的元件能克服现有技术的缺陷。
主权项：1.一种带有散热鳍片的三维蒸气腔元件的制作方法，其特征在于包含以下步骤：提供一具有三维结构的上盖，该上盖包含一基板以及一管体，该基板具有一基板空腔以及一上内表面，该管体具有一管体空腔、一管体内表面以及一冷凝端；提供一下盖，匹配该上盖并且具有一下内表面；提供一散热鳍片，设置于该管体的该冷凝端上并且进行一第一烧结制程，以使该散热鳍片耦接于该管体的该冷凝端上；形成一多孔隙毛细结构于该上内表面、该管体内表面以及该下内表面上；接合该上盖以及该下盖，以使该管体空腔以及该基板空腔形成一密闭气腔；以及设置一工作流体于该密闭气腔中，并使该密闭气腔中的压力小于一大气压。
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权利要求：
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