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申请/专利权人：苏州市晶协高新电子材料有限公司

摘要：本发明公开了一种玻璃晶片脱胶装置，包括脱胶槽、脱水组件、浓硫酸罐、双氧水罐和微处理器；所述脱胶槽包括相邻设置的清洗槽和漂洗槽，所述清洗槽内注入有浓硫酸和双氧水，清洗槽内上部设有清洗篮；所述漂洗槽内上部设有漂洗篮；所述浓硫酸罐通过浓硫酸管与清洗槽连通；所述双氧水罐通过双氧水管与清洗槽连通；所述清洗槽上方一侧设有槽盖，另一侧则用于设置脱水组件，所述脱水组件包括电加热板、吸收仓、温度传感器、循环管及干燥包和风机。本发明还提供了使用该装置对玻璃晶片进行脱胶的方法。其可有效去除玻璃晶片上的紫外固化胶，并且该装置可使去胶过程持续进行，不需要经常更换去胶液，提高工作效率，节约资源，保护环境。

主权项：1.一种玻璃晶片脱胶装置，包括脱胶槽（2），其特征在于，还包括脱水组件、浓硫酸罐（8）、双氧水罐（9）和微处理器；所述脱胶槽（2）包括相邻设置的清洗槽（7）和漂洗槽（3），所述清洗槽（7）内注入有用于对待脱胶玻璃晶片进行脱胶的浓硫酸和双氧水，清洗槽（7）内上部设有用于放置待脱胶玻璃晶片的清洗篮（6）；所述漂洗槽（3）内上部设有用于放置脱胶后的玻璃晶片的漂洗篮（4），漂洗槽（3）内设有与微处理器相连的超声波装置；所述浓硫酸罐（8）通过浓硫酸管（12）与清洗槽（7）连通，为清洗槽（7）提供浓硫酸，所述浓硫酸管（12）上设有与微处理器相连的第一流量控制阀（10）；所述双氧水罐（9）通过双氧水管（13）与清洗槽（7）连通，为清洗槽（7）提供双氧水，所述双氧水管（13）上设有与微处理器相连的第二流量控制阀（11）；所述清洗槽（7）上方一侧设有槽盖，另一侧则用于设置脱水组件，所述脱水组件包括设置在清洗槽（7）上并与微处理器相连的电加热板（15），罩设在电加热板（15）上方并与清洗槽（7）上端相连的吸收仓，设置在吸收仓内的温度传感器，两端均与吸收仓连通以构成气流内循环的循环管（14），及设置在循环管（14）上的干燥包（17）和风机（16），所述风机（16）和温度传感器均与微处理器相连；所述电加热板（15）的加热温度为170～180℃；所述干燥包（17）内填充有颗粒状干燥材料，且所述干燥材料的制备方法如下：1）制备粘结剂：将12～16份石墨烯在65～70份pH值为5.6～5.8的盐酸溶液中超声分散，超声频率为600～800Hz，超声分散25～35分钟后得到石墨烯分散液；将石墨烯分散液与10～20份邻苯二甲酸二辛酯、1～5份微晶蜡、1～10份多元醇混合并磁力搅拌1～2小时，搅拌温度为75～95℃，搅拌完成后得到粘结剂；2）制备颗粒材料：将得到的粘结剂与100～120份3A分子筛粉末混合均匀，制得混合料，再将混合料加入挤出机进行挤出造粒，得到颗粒材料；3）制备颗粒状干燥材料：将制得的颗粒材料在220～320℃温度下保温1～3h，在450～540℃的条件下焙烧1～2h，然后冷却至室温，即得颗粒状干燥材料。

全文数据：一种玻璃晶片脱胶装置及脱胶方法技术领域本发明涉及一种水洗脱胶领域，具体涉及玻璃晶片脱胶装置及脱胶方法。背景技术随着电子半导体行业的发展，对玻璃晶片的要求更高，而其中对玻璃晶片尺寸的不同需求，导致需要切割玻璃晶片。目前市场上常见的切割方法是先通过粘合性能较好的紫外固化胶将玻璃晶片粘合，然后再对其进行切割，切割后的晶片用合适的溶剂溶解掉其中的固化胶，即可得到所需尺寸的玻璃晶片。然而，紫外固化胶粘合得更牢固，保证了晶片切割的质量，但却也给我们带来了一个新的问题：紫外固化胶的去除。目前，最有效的紫外固化胶去除方法是浓硫酸和双氧水法，该方法先加浓硫酸浓硫酸使胶炭化，然后再将其与双氧水反应，最终生成二氧化碳和水；这种方法去除效果较好，但是由于反应生成的水会使浓硫酸稀释，而稀释后的浓硫酸的炭化效果降低，无法再进行下一轮的碳化，因此只能一次性使用，浪费极大，此外，废弃的浓硫酸也需要进行处理后才能排放，造成人力财力的浪费。发明内容本发明的目的之一是为了提供一种玻璃晶片脱胶装置，该装置可有效去除玻璃晶片上的紫外固化胶，并且该装置可使去胶过程持续进行，不需要经常更换去胶液，提高工作效率，节约资源，保护环境。为实现上述目的，本发明采用的技术方案如下：一种玻璃晶片脱胶装置，包括脱胶槽，还包括脱水组件、浓硫酸罐、双氧水罐和微处理器；所述脱胶槽包括相邻设置的清洗槽和漂洗槽，所述清洗槽内注入有用于对待脱胶玻璃晶片进行脱胶的浓盐酸和双氧水，清洗槽内上部设有用于放置待脱胶玻璃晶片的清洗篮；所述漂洗槽内上部设有用于放置脱胶后的玻璃晶片的漂洗篮，漂洗槽内设有与微处理器相连的超声波装置；所述浓硫酸罐通过浓硫酸管与清洗槽连通、以为清洗槽提供浓硫酸，所述浓硫酸管上设有与微处理器相连的第一流量控制阀；所述双氧水罐通过双氧水管与清洗槽连通、以为清洗槽提供双氧水，所述双氧水管上设有与微处理器相连的第二流量控制阀；所述清洗槽上方一侧设有槽盖，另一侧则用于设置脱水组件，所述脱水组件包括设置在清洗槽上并与微处理器相连的电加热板，罩设在电加热板上方并与清洗槽上端相连的吸收仓，设置在吸收仓内的温度传感器，两端均与吸收仓连通以构成气流内循环的循环管，及设置在循环管上的干燥包和风机，所述风机和温度传感器均与微处理器相连。具体的说，还包括烘干机，所述烘干机与漂洗槽相邻设置，用于对漂洗后的玻璃晶片进行烘干。具体的说，所述清洗槽内还设有用于检测清洗槽内液体酸度的酸浓度检测仪和用于检测液位的液位计，所述液位计设有至少第一设定阈值和第二设定阈值这两个阈值；所述酸浓度检测仪和液位计均与微处理器相连。更具体的说，，所述吸收仓为湿气流源，所述循环管以吸收仓和干燥包为界、分为干燥气流段和湿气流段，所述风机即设置在干燥气流段；所述干燥气流段设有与微处理器相连的气体温湿度传感器。作为一种优选方案，所述清洗槽内的浓硫酸质量浓度在90～96％范围内。作为一种优选方案，所述清洗槽内的双氧水质量浓度在29％～31％范围内。作为一种优选方案，所述双氧水管与清洗槽的侧面底部相接，且其连接口位于远离脱水组件的清洗槽侧壁上。作为一种优选方案，所述电加热板的加热温度为170～180℃。进一步的，所述干燥包内填充有颗粒状干燥材料，且所述干燥材料的制备方法如下：1制备粘结剂：将12～16份石墨烯在65～70份pH值为5.6～5.8的盐酸溶液中超声分散，超声频率为600～800Hz，超声分散25～35分钟后得到石墨烯分散液；将石墨烯分散液与10～20份邻苯二甲酸二辛酯、1～5份微晶蜡、1～10份多元醇混合并磁力搅拌1～2小时，搅拌温度为75～95℃，搅拌完成后得到粘结剂；2制备颗粒材料：将得到的粘结剂与100～120份3A分子筛粉末混合均匀，制得混合料，再将混合料加入挤出机进行挤出造粒，得到颗粒材料；3制备颗粒状干燥材料：将制得的颗粒材料在220～320℃温度下保温1～3h，在450～540℃的条件下焙烧1～2h，然后冷却至室温，即得颗粒状干燥材料。更进一步的，本发明还提供了利用上述的脱胶装置对玻璃晶片进行脱胶的方法，具体包括以下步骤：S1装置准备：组装好脱胶装置，并开启第一流量控制阀向清洗槽内注入浓硫酸，直至注入量达到液位计的第一设定阈值，同时，开启电加热板和风机；然后向漂洗槽内注入漂洗液、至浸没漂洗篮；S2脱胶：当检测到加热仓内温度在170～180℃范围后，将待脱胶玻璃晶片放入清洗篮，并迅速关闭槽盖、打开第二流量控制阀，向清洗槽内注入双氧水，直至注入量达到液位计的第二设定阈值，即开始了脱胶处理；S3漂洗：脱胶处理30～40min后，开启槽盖取出玻璃晶片，再将其置于漂洗篮中，并启动超声波装置，清洗5～10min；S4烘干：取出漂洗篮中的玻璃晶片放入烘干机进行脱水干燥即可。与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：1本发明选用浓硫酸-双氧水法来去除玻璃晶片上的固化胶，相对于现有的有机溶剂脱胶而言，本发明玻璃晶片去胶后清洗更加方便，紫外光固化胶去除效果更好；并且，本发明是采用浓硫酸使胶炭化，再与双氧水反应，最终生成二氧化碳和水，使用去离子水清洗即可，整个去除过程中无毒无污染，固化胶去除效果也非常好。2本发明采用脱水组件对清洗槽内的清洗液进行脱水处理，可有效且持续的去除脱胶过程中产生的水，使浓硫酸保持在一定的浓度范围内，不影响浓硫酸的炭化作用，使得浓硫酸持续有效，进而使得玻璃晶片去胶持续进行，不需要经常更换去胶液，提高工作效率，节约资源，保护环境。3本发明将电加热板设置在清洗槽上方，采用电加热板的热辐射作用使得水分汽化成水蒸气，进入空气中，由于槽盖和吸收仓的设置，使得潮湿的空气汇集到吸收仓上，再随着风机的抽风作用，使潮湿空气经过干燥包，去除了其中的水气，干燥的空气进入循环管循环。而随着溶液表层水分的逐渐减少，表层高浓度的硫酸向下运动，而底部低浓度硫酸往上运动，形成自然的循环。该设置一方面使水汽化成水蒸气，不断除去溶液中的水分，另一方面随着双氧水的间歇加入和反应过程中产生的水，溶液中又不断有水增加，当整个过程趋于平衡后，使得溶液中硫酸的浓度保持在95％左右，即可持续起到炭化去胶作用。4本发明的电加热板温度大于185℃时，清洗槽内液体表面水份蒸发较快，蒸发速度不易控制，此外，在该温度下，会导致液体平均温度过高，进而促进双氧水自行分解，降低了其氧化炭化杂质的作用；而当电加热板温度低于170℃，则又会减缓清洗槽内液体表面水份蒸发速度，使其蒸发速度无法赶上反应产生水份的速度，降低浓硫酸的浓度，使其炭化反应不及时。因此，经多次试验验证后，本发明将电加热板设置为178℃左右为最佳，在该温度下，清洗槽内液体表层水分会逐渐蒸发减少，且液体平均温度在60℃左右，温度较高，浓硫酸的炭化、双氧水的反应速率均较快，可加快去胶速率，缩短去胶时间。5本发明对干燥材料中的分子筛进行了改性，加入了粘结剂，一方面可有效改善干燥材料的成型效率和产品品质，保证干燥材料成型颗粒具有足够强度和韧性，且使用的材料安全，长期运行能够保障吸附剂颗粒不破碎，不溶胀，不浸出，安全可靠；另一方面则是经无机改性后制孔造粒及高温焙烧，得到吸附性能优异、选择性吸附能力强、吸附性能长久、对极性分子的H2O分子极易吸附的干燥材料。6本发明去胶操作简单，自动化程度高，反应快速，清洗篮设置在清洗槽上部，而恰好上部液体温度较高，有利于浓硫酸的炭化、双氧水的氧化反应，其中，双氧水入口的设置及其后添加的方式，可避免双氧水一进入清洗槽就与高温湿气接触，并在高温下迅速反应，造成浪费。采用本装置对玻璃晶片进行脱胶，可使得去胶过程持续进行，是一种资源节约环境友好的方法。附图说明图1为本发明结构示意图。其中，附图标记对应的名称为：1-烘干机，2-脱胶槽，3-漂洗槽，4-漂洗篮，5-酸浓度检测仪，6-清洗篮，7-清洗槽，8-浓硫酸罐，9-双氧水罐，10-第一流量控制阀，11-第二流量控制阀，12-浓硫酸管，13-双氧水管，14-循环管，15-电加热板，16-风机，17-干燥包。具体实施方式下面结合附图说明和实施例对本发明作进一步说明，本发明的方式包括但不仅限于以下实施例。本实施例提供了一种玻璃晶片脱胶装置，该装置采用浓硫酸和双氧水法来对玻璃晶片进行紫外光固化胶的去除，并且可以克服现有技术中去胶过程生成水导致硫酸浓度降低、影响硫酸对固化胶炭化的问题。具体来说，如图1所示，该装置包括脱胶槽2、脱水组件、浓硫酸8、双氧水罐9、烘干机1和微处理器；其中，微处理器可以直接选用51单片机等常规器件，以能达到本申请目的为准即可。所述脱胶槽整体为一个方形槽体，中间设有隔板，将脱胶槽隔离为清洗槽7和漂洗槽3，所述清洗槽内注入有用于对待脱胶玻璃晶片进行脱胶的浓盐酸和双氧水，清洗槽内上部设有用于放置待脱胶玻璃晶片的清洗篮6，所述清洗槽7内还设有用于检测清洗槽内液体酸度的酸浓度检测仪5和用于检测液位的液位计，所述液位计设有至少第一设定阈值和第二设定阈值这两个阈值，所述酸浓度检测仪和液位计均与微处理器相连；当检测到清洗槽内酸度不满足需求时，即可加快脱水组件的脱水，进而使其浓度满足需求，而其液位计的两个阈值设计，则是为了便于按比自动添加浓硫酸和双氧水的量，此外，液位计还可辅助检测脱水效率，当液位下降较快时、表明脱水速率较高，而液位下降较慢时、表明脱水速递较低，此时，都可根据需要来调整脱水组件。其中，为达到最好的去胶效果，本实施例中，清洗槽7内的浓硫酸质量浓度在90-96％范围内，所述清洗槽7内的双氧水质量浓度在29％-31％范围内。所述漂洗槽3内上部设有用于放置脱胶后的玻璃晶片的漂洗篮4，漂洗槽内设有与微处理器相连的超声波装置，当玻璃晶片进行清洗时，可以直接进行漂洗，也可以启动超声波装置进行震荡清洗，可加快清洗速度。所述浓硫酸罐8通过浓硫酸管12与清洗槽7连通、以为清洗槽提供浓硫酸，所述浓硫酸管上设有与微处理器相连的第一流量控制阀10；所述双氧水罐9通过双氧水管13与清洗槽7连通、以为清洗槽提供双氧水，所述双氧水管上设有与微处理器相连的第二流量控制阀11；该设置可实现浓硫酸与双氧水的自动加料。考虑到双氧水在较高温度下会分解，因此，本实施例所述双氧水管13与清洗槽7的侧面底部相接，且其连接口位于远离脱水组件的清洗槽侧壁上，使其从清洗槽内清洗液的下部进入，温度较低，然后上浮并与浓硫酸对固化胶炭化完全的物质发生反应，以达到去胶作用。所述清洗槽7上方一侧设有槽盖，以避免热散失，清洗槽7另一侧则用于设置脱水组件，所述脱水组件包括设置在清洗槽上并与微处理器相连的电加热板15，罩设在电加热板上方并与清洗槽上端相连的吸收仓，设置在吸收仓内的温度传感器，两端均与吸收仓连通以构成气流内循环的循环管14，及设置在循环管上的干燥包17和风机16，所述风机和温度传感器均与微处理器相连，以便于实现自动控制。在去胶过程中生成了水，加热板的热辐射作用使得水分汽化成水蒸气，进入空气中形成湿气，而所述吸收仓即汇集湿气形成为湿气流源，所述循环管14以吸收仓和干燥包为界、分为干燥气流段和湿气流段，所述风机16即设置在干燥气流段；所述干燥气流段设有与微处理器相连的气体温湿度传感器。经过多次实验表明，加热板的温度设置为178℃较合适，在该温度下，既能够保证电加热板的热辐射作用能够使清洗槽内液体表面的水分汽化成水蒸气，进入空气中，又能确保清洗槽内温度内温度不会过高，从而使双氧水遇热分解。潮湿的空气随着抽风系统的作用，经过干燥包，去除了其中的水气，干燥的空气进入循环系统。随着溶液表层水分的逐渐减少，表层高浓度的硫酸向下运动，而底部低浓度硫酸往上运动，形成自然的循环。一方面水汽化成水蒸气，不断除去溶液中的水分，另一方面随着双氧水的间歇加入和反应过程中产生的水，溶液中又不断有水增加，当整个过程趋于平衡后，使得溶液中硫酸的浓度保持在95％左右，能持续起到炭化去胶作用。所述烘干机1与漂洗槽3相邻设置，用于对漂洗后的玻璃晶片进行烘干。其中，本装置中所述的干燥包17内填充有颗粒状干燥材料，且所述干燥材料的制备方法如下：1制备粘结剂：将12～16份石墨烯在65～70份pH值为5.6～5.8的盐酸溶液中超声分散，超声频率为600～800Hz，超声分散25～35分钟后得到石墨烯分散液；将石墨烯分散液与10～20份邻苯二甲酸二辛酯、1～5份微晶蜡、1～10份多元醇混合并磁力搅拌1～2小时，搅拌温度为75～95℃，搅拌完成后得到粘结剂；2制备颗粒材料：将得到的粘结剂与100～120份3A分子筛粉末混合均匀，制得混合料，再将混合料加入挤出机进行挤出造粒，得到颗粒材料；3制备颗粒状干燥材料：将制得的颗粒材料在220～320℃温度下保温1～3h，在450～540℃的条件下焙烧1～2h，然后冷却至室温，即得颗粒状干燥材料。此外，本实施例还提供了利用上述的脱胶装置对玻璃晶片进行脱胶的方法，具体包括以下步骤：S1装置准备：组装好脱胶装置，并开启第一流量控制阀10向清洗槽7内注入浓硫酸，直至注入量达到液位计的第一设定阈值，同时，开启电加热板15和风机16；然后向漂洗槽3内注入漂洗液、至浸没漂洗篮；S2脱胶：当检测到加热仓内温度在170～180℃范围后，将待脱胶玻璃晶片放入清洗篮6，并迅速关闭槽盖、打开第二流量控制阀10，向清洗槽内注入双氧水，直至注入量达到液位计的第二设定阈值，即开始了脱胶处理；S3漂洗：脱胶处理30～40min后，开启槽盖取出玻璃晶片，再将其置于漂洗篮中，并启动超声波装置，清洗5～10min；S4烘干：取出漂洗篮中的玻璃晶片放入烘干机1进行脱水干燥即可。本发明在去胶过程中持续除去生成的水，使得浓硫酸的浓度保持在有效范围内，浓硫酸的炭化作用不受影响，实现去胶过程连续进行。提高了工作效率，节约了浓硫酸的用量，减少了废弃浓硫酸的排放。上述实施例仅为本发明的优选实施方式之一，不应当用于限制本发明的保护范围，但凡在本发明的主体设计思想和精神上作出的毫无实质意义的改动或润色，其所解决的技术问题仍然与本发明一致的，均应当包含在本发明的保护范围之内。

权利要求：1.一种玻璃晶片脱胶装置，包括脱胶槽2，其特征在于，还包括脱水组件、浓硫酸罐8、双氧水罐9和微处理器；所述脱胶槽2包括相邻设置的清洗槽7和漂洗槽3，所述清洗槽7内注入有用于对待脱胶玻璃晶片进行脱胶的浓盐酸和双氧水，清洗槽7内上部设有用于放置待脱胶玻璃晶片的清洗篮6；所述漂洗槽3内上部设有用于放置脱胶后的玻璃晶片的漂洗篮4，漂洗槽3内设有与微处理器相连的超声波装置；所述浓硫酸罐8通过浓硫酸管12与清洗槽7连通，为清洗槽7提供浓硫酸，所述浓硫酸管12上设有与微处理器相连的第一流量控制阀10；所述双氧水罐9通过双氧水管13与清洗槽7连通，为清洗槽7提供双氧水，所述双氧水管13上设有与微处理器相连的第二流量控制阀11；所述清洗槽7上方一侧设有槽盖，另一侧则用于设置脱水组件，所述脱水组件包括设置在清洗槽7上并与微处理器相连的电加热板15，罩设在电加热板15上方并与清洗槽7上端相连的吸收仓，设置在吸收仓内的温度传感器，两端均与吸收仓连通以构成气流内循环的循环管14，及设置在循环管14上的干燥包17和风机16，所述风机16和温度传感器均与微处理器相连。2.根据权利要求1所述的一种玻璃晶片脱胶装置，其特征在于，还包括烘干机1，所述烘干机1与漂洗槽3相邻设置，用于对漂洗后的玻璃晶片进行烘干。3.根据权利要求1或2所述的一种玻璃晶片脱胶装置，其特征在于，所述清洗槽7内还设有用于检测清洗槽7内液体酸度的酸浓度检测仪5和用于检测液位的液位计，所述液位计设有至少第一设定阈值和第二设定阈值这两个阈值；所述酸浓度检测仪和液位计均与微处理器相连。4.根据权利要求3所述的一种玻璃晶片脱胶装置，其特征在于，所述吸收仓为湿气流源，所述循环管14以吸收仓和干燥包为界，分为干燥气流段和湿气流段，所述风机16即设置在干燥气流段；所述干燥气流段设有与微处理器相连的气体温湿度传感器。5.根据权利要求4所述的一种玻璃晶片脱胶装置，其特征在于，所述清洗槽7内的浓硫酸质量浓度在90～96％范围内。6.根据权利要求5所述的一种玻璃晶片脱胶装置，其特征在于，所述清洗槽7内的双氧水质量浓度在29％～31％范围内。7.根据权利要求4～6任意一项所述的一种玻璃晶片脱胶装置，其特征在于，所述双氧水管13与清洗槽7的侧面底部相接，且其连接口位于远离脱水组件的清洗槽7侧壁上。8.根据权利要求1所述的一种玻璃晶片脱胶装置，其特征在于，所述电加热板15的加热温度为170～180℃。9.根据权利要求1所述的一种玻璃晶片脱胶装置，其特征在于，所述干燥包17内填充有颗粒状干燥材料，且所述干燥材料的制备方法如下：1制备粘结剂：将12～16份石墨烯在65～70份pH值为5.6～5.8的盐酸溶液中超声分散，超声频率为600～800Hz，超声分散25～35分钟后得到石墨烯分散液；将石墨烯分散液与10～20份邻苯二甲酸二辛酯、1～5份微晶蜡、1～10份多元醇混合并磁力搅拌1～2小时，搅拌温度为75～95℃，搅拌完成后得到粘结剂；2制备颗粒材料：将得到的粘结剂与100～120份3A分子筛粉末混合均匀，制得混合料，再将混合料加入挤出机进行挤出造粒，得到颗粒材料；3制备颗粒状干燥材料：将制得的颗粒材料在220～320℃温度下保温1～3h，在450～540℃的条件下焙烧1～2h，然后冷却至室温，即得颗粒状干燥材料。10.一种利用权利要求9所述的脱胶装置对玻璃晶片进行脱胶的方法，所述玻璃晶片上要脱出的胶为紫外固化胶，其特征在于，包括以下步骤：S1装置准备：组装好脱胶装置，并开启第一流量控制阀10向清洗槽7内注入浓硫酸，直至注入量达到液位计的第一设定阈值，同时，开启电加热板15和风机16；然后向漂洗槽3内注入漂洗液、至浸没漂洗篮；S2脱胶：当检测到加热仓内温度在170～180℃范围后，将待脱胶玻璃晶片放入清洗篮6，并迅速关闭槽盖、打开第二流量控制阀10，向清洗槽内注入双氧水，直至注入量达到液位计的第二设定阈值，即开始了脱胶处理；S3漂洗：脱胶处理30～40min后，开启槽盖取出玻璃晶片，再将其置于漂洗篮中，并启动超声波装置，清洗5～10min；S4烘干：取出漂洗篮中的玻璃晶片放入烘干机1进行脱水干燥即可。

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