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申请/专利权人：上村工业株式会社
摘要：本发明提供析出状况推定装置及推定方法、控制装置、记录介质以及反应容器，即使在镀覆槽中的镀覆工序中，也能够测定镀覆的析出速度等析出状况。控制装置的金属覆膜析出控制单元控制镀覆液导入机构，向反应容器导入镀覆槽的镀覆液。通过被导入的镀覆液，在设置于反应容器的析出部件析出金属覆膜。接着，控制装置的金属覆膜溶解控制单元控制蚀刻液导入机构，向反应容器导入蚀刻液来代替镀覆液。通过被导入的蚀刻液，在析出部件析出的金属覆膜被溶解。测定部对金属覆膜溶解的处理后的蚀刻液的金属浓度相关值金属浓度或与金属浓度相关的值进行测定。控制装置的推定单元基于由测定部测定出的金属浓度相关值来推定镀覆槽中的镀覆析出速度等析出状况。
主权项：1.一种析出状况推定装置，其具备：反应容器，其具有析出部件；镀覆液导入机构，其为了使所述析出部件浸渍于镀覆液而析出金属覆膜，向所述反应容器导入镀覆槽的镀覆液；蚀刻液导入机构，其为了使所述析出部件浸渍于蚀刻液而溶解金属覆膜，向所述反应容器导入蚀刻液；测定部，其测定溶解有所述金属覆膜的蚀刻液的金属浓度相关值；以及控制部，其进行用于测定的控制，其中，所述控制部具备：金属覆膜析出控制单元，其使得：通过所述镀覆液导入机构向所述反应容器内导入镀覆液，在所述析出部件析出金属覆膜；金属覆膜溶解控制单元，其使得：在排出所述反应容器内的镀覆液之后，通过所述蚀刻液导入机构向所述反应容器内导入蚀刻液，使在所述析出部件析出的金属覆膜溶解；以及推定单元，通过所述测定部测定溶解有所述金属覆膜的蚀刻液的金属浓度相关值，该推定单元基于该金属浓度相关值，推定所述镀覆槽中的金属覆膜的析出状况。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上村工业株式会社 析出状况推定装置及推定方法、控制装置、记录介质以及反应容器
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