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玻片焦距补偿方法及装置以及具有玻片焦距补偿装置的检测系统 

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申请/专利权人:英华达(上海)科技有限公司;英华达(上海)电子有限公司;英华达股份有限公司

摘要:本发明提供一种玻片焦距补偿方法,包含以下步骤:取得一参考玻片的焦距、校正参考值以及压力阈值;放置一待测玻片至压力探针模块的下方,并且控制压力探针模块移动至一起始位置,其中压力探针模块包含压力感测组件以及探针;控制压力探针模块向下移动,每次移动一固定距离,并且压力感测组件感测探针的压力值;以及当压力值大于压力阈值时,记录压力探针模块向下移动的一移动次数,并且根据焦距、校正参考值、固定距离以及移动次数计算出待测玻片的一正确焦距。

主权项:1.一种玻片焦距补偿方法,其特征在于,包含以下步骤:取得一参考玻片的一焦距、一校正参考值以及一压力阈值;放置一待测玻片至一压力探针模块的下方,并且控制该压力探针模块移动至一起始位置,其中该压力探针模块包含一压力感测组件以及一探针;控制该压力探针模块向下移动,每次移动一固定距离,并且该压力感测组件感测该探针的一压力值;以及当该压力值大于该压力阈值时,记录该压力探针模块向下移动的一移动次数,并且根据该焦距、该校正参考值、该固定距离以及该移动次数计算出该待测玻片的一正确焦距。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 英华达(上海)科技有限公司 英华达(上海)电子有限公司 英华达股份有限公司 玻片焦距补偿方法及装置以及具有玻片焦距补偿装置的检测系统

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