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申请/专利权人：信越化学工业株式会社
摘要：本发明涉及鎓盐、抗蚀剂组成物、及图案形成方法。本发明的课题是提供在远紫外线光刻及EUV光刻中，LWR、分辨度优良，而且可抑制抗蚀剂图案的崩塌的化学增幅抗蚀剂组成物，以及提供该化学增幅抗蚀剂组成物使用的鎓盐及使用该抗蚀剂组成物的图案形成方法。该课题的解决手段是一种鎓盐，以下式1表示。
主权项：1.一种鎓盐，以下式1表示； 式中，n1为0或1的整数；n2为0～6的整数；n3为0～3的整数；n4为0～4的整数；W为也可含有杂原子的碳数2～20的含氮原子的脂肪族杂环；LA及LB分别独立地为单键、醚键、酯键、酰胺键、磺酸酯键、碳酸酯键或氨基甲酸酯键；XL为单键或也可含有杂原子的碳数1～40的亚烃基；R1为也可含有杂原子的碳数1～20的烃基；n2≥2时，多个R1也可互相键结并和它们所键结的W上的碳原子一起形成环；R2为卤素原子或也可含有杂原子的碳数1～20的烃基；n4≥2时，多个R2也可互相键结并和它们所键结的芳香环上的碳原子一起形成环；RAL为和相邻的-O-一起形成的酸不稳定基团；Z+为鎓阳离子。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 信越化学工业株式会社 鎓盐、抗蚀剂组成物、及图案形成方法
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