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申请/专利权人：朗姆研究公司
摘要：一种用于设备前端模块的组成混合物控制系统包括歧管、流动控制器和组成控制器。所述流动控制器被配置成控制相应的气体流向该歧管的流动，其中该歧管被配置成混合从所述流动控制器所接收到的所述气体，并且将所得到的气体混合物引导至该设备前端模块中的外壳。该组成控制器被配置成控制所述流动控制器的操作，以将该外壳中的组成调整至包含所述气体的设定目标组成。
主权项：1.一种用于设备前端模块的组成混合物控制系统，其包括：歧管；多个流动控制器，其被配置成控制相应的气体流向所述歧管的流动，其中所述歧管被配置成混合从所述多个流动控制器所接收到的所述气体，并且将所得到的气体混合物引导至所述设备前端模块中的外壳；以及组成控制器，其被配置成控制所述多个流动控制器的操作，以将所述外壳中的组成调整至包含所述气体的设定目标组成。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 朗姆研究公司 EFEM环境的组成混合物控制
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