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一种用于长焦深环形光斑打孔的激光加工头、激光加工系统 

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申请/专利权人:上海仪万光电科技有限公司

摘要:本发明涉及激光打孔技术领域,尤其是涉及一种用于长焦深环形光斑打孔的激光加工头、激光加工系统。本发明的激光加工头,沿激光光束发射方向,包括中空的外壳以及依次间隔设置于外壳内部空腔的第一光学元件、第二光学元件和第三光学元件;第一光学元件用于将激光光束调节成径向能量分布均匀的长焦深环形光束;第二光学元件和第三光学组件用于将长焦深环形光束调制成长焦深环形光斑。本发明的一种用于长焦深环形光斑打孔的激光加工头通过改变第二光学元件和第三光学元件的焦距,可以控制长焦深环形光斑的外径和焦深。该长焦深环形光斑,在被加工样品中形成具有一定深度且分布均匀的环形改质区域。

主权项:1.一种用于长焦深环形光斑打孔的激光加工头,其特征在于,沿激光光束500发射方向,包括中空的外壳1以及依次间隔设置于外壳1内部空腔的第一光学元件2、第二光学元件3和第三光学元件4;其中,第一光学元件2、第二光学元件3和第三光学元件4的中轴线相同;第一光学元件2选自衍射光学元件或折射光学元件中的一种;第二光学元件3为聚焦透镜;第三光学元件4为聚焦透镜;第一光学元件2用于将激光光束500调节成径向能量分布均匀的长焦深环形光束;第二光学元件3和第三光学组件用于将长焦深环形光束调制成长焦深环形光斑900。

全文数据:

权利要求:

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