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申请/专利权人：深圳北航新兴产业技术研究院
摘要：本发明提供了一种氧化石墨烯波纹膜光纤F‑P声压传感器及其制作方法，属于传感器技术领域。本发明通过模具制作、壳体制作、氧化石墨烯波纹膜制备与对准转移以及F‑P干涉距离确定四个步骤，在悬浮氧化石墨烯膜表面制备波纹结构来调控膜片表面预应力，进而提高了光纤F‑P声压传感器机械灵敏度，具有重要的实际意义及应用价值。
主权项：1.一种氧化石墨烯波纹膜光纤F-P声压传感器的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、氧化石墨烯波纹膜制备与对准转移，具体步骤如下：S1-1、在模具（5）表面刻划凹槽，然后将模具（5）清洗干净；接着在模具（5）带有凹槽的一面滴加GO溶液并烘干，得到带基底的氧化石墨烯波纹膜（6）；S1-2、在外壳（1）的端面沉孔（2）底面均匀涂抹粘合剂，将模具（5）带有氧化石墨烯波纹膜（6）的一面朝里放入端面沉孔（2）中；S1-3、待粘合剂固化后将模具（5）取出，制备得到悬浮氧化石墨烯波纹膜；S2、单模光纤（7）的处理：剥去单模光纤（7）的涂覆层，将光纤端面切割平整，擦拭干净，备用；S3、F-P干涉距离确定，具体步骤如下：S3-1、将插芯（8）插入圆柱沉孔（4）并保证插芯（8）的端面与圆柱沉孔（4）的底面接触，此时插芯（8）的端面与氧化石墨烯波纹膜（6）之间构成背腔（3）；S3-2、将步骤S2中处理后的单模光纤（7）从插芯（8）的尾端插入，光纤端面与氧化石墨烯波纹膜（6）之间的距离即为F-P干涉距离，利用光谱仪观察确定F-P干涉长度；S3-3、用粘合剂固定单模光纤（7）与插芯（8）的尾端，得到氧化石墨烯波纹膜光纤F-P声压传感器；步骤S1中所述模具（5）的形状根据需求自行设计模具（5）形状，但需与端面沉孔（2）形状匹配，并保证模具（5）与端面沉孔（2）之间过渡配合；所述圆柱沉孔（4）中心与端面沉孔（2）中心同轴度误差≤10μm。
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权利要求：
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