买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：奈米科学仪器装备(杭州)有限公司

摘要：本发明提出了一种基于双Z轴的对焦装置及方法，该装置包括：成像系统，其包括配有显微镜的相机，其安装于基座的悬挂台；运动平台，位于悬挂台的下方，用于承接样品，其安装于龙门横梁，龙门横梁用于承载运动平台；一号连接机构、Z1轴和一号位移单元，由上至下依次连接，一号位移单元可沿Z向移动，其移动端连接Z1轴的下端，一号连接机构安装于龙门横梁；二号连接机构、Z2轴和二号位移单元，由上至下依次连接，二号位移单元可沿Z向移动，其移动端连接Z2轴的下端，二号连接机构安装于龙门横梁；一号连接机构和二号连接机构中，至少一个连接机构为铰接机构。本发明可实现在后续检测量测过程中，样品与主光轴的垂直的动态调整。

主权项：1.一种基于双Z轴的对焦方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、确定Z轴的初步焦距位置b，具体包括以下步骤：步骤1A、确定双Z轴同步扫描的参数：根据样品厚度t，确定Z轴的扫描范围[a1,a2]；设定扫描步进距离step1，则扫描点数为n=a2-a1step1；步骤1B、将双Z轴下降至Z轴上端面处于位置a1；步骤1C、配置有双Z轴的运动平台，在位移单元的作用下沿Z向同步向上移动n次；其中，双Z轴包括Z1轴和Z2轴，单独位移模式时使得运动平台倾斜；位移单元包括一号位移单元和二号位移单元；一号连接机构、Z1轴和一号位移单元，由上至下依次连接，一号位移单元可沿Z向移动，其移动端连接Z1轴的下端，一号连接机构安装于龙门横梁；二号连接机构、Z2轴和二号位移单元，由上至下依次连接，二号位移单元可沿Z向移动，其移动端连接Z2轴的下端，二号连接机构安装于龙门横梁；所述一号连接机构和二号连接机构中，至少一个连接机构为铰接机构；所述运动平台，位于悬挂台的下方，用于承接样品，其安装于龙门横梁，所述龙门横梁用于承载运动平台；配有显微镜的相机，其安装于基座的悬挂台；设第k次移动时记录下Z轴上端面当时的驻停位置PK和保存相机通过显微镜拍摄到的图像IK，k＝1、2、3、…，n；步骤1D、通过清晰度评价算法对每张图像IK进行清晰度计算，得到每张图像IK的清晰度数值；遍历所有图像的清晰度数值，找到清晰度数值最大的图像所对应的驻停位置PK，为Z轴的初步焦距位置b；步骤2、确定初步焦距位置b处，图像Ib中不同区域之间的清晰度差值的绝对值，具体包括以下步骤：步骤2A、将所有Z轴的上端面同步移动至初步焦距位置b；步骤2B、相机通过显微镜拍摄一张图像Ib，将图像Ib划分为若干独立的区域；步骤2C、通过清晰度评价算法对图像Ib中的区域分别进行清晰度计算，得到每个区域的清晰度数值；步骤2D、计算任意两个区域之间的清晰度差值，并取绝对值JDZb；步骤3、切换单独位移模式，以确定2个Z轴的最佳焦距位置b1、b2，具体包括以下步骤：控制Z2轴沿Z向移动扫描取图，重新计算步骤2D中取过绝对值的两个区域之间的清晰度差值，并重新取绝对值；当清晰度差值的绝对值符合要求时，Z2轴上端面所对应的位置d=Z2轴最佳焦距位置b2；Z1轴上端面所对应的位置D=Z1轴最佳焦距位置b1。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 奈米科学仪器装备(杭州)有限公司 基于双Z轴的对焦装置及方法