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申请/专利权人：东莞市通美电子科技有限公司
摘要：本发明公开了一种ITO导电玻璃的刻蚀方法及刻蚀装置，其中刻蚀方法包括如下步骤：S1.将碱性刻蚀浆液装入点胶机的针筒中，设置压力，使碱性刻蚀浆液能够稳定的从点胶机的针筒中压出；S2.针筒固定在点胶机的机械臂的末端上，根据ITO玻璃上的图案需求，在点胶机的控制面板中设置或选择对应图案的运行程序，运行程序控制点胶机的机械臂的运行轨迹，使碱性刻蚀浆液自动的在ITO玻璃的表面上精确绘制需要的图案；S3.绘制完成后，将ITO玻璃加热，清洗烘干后完成刻蚀。本发明能够解决ITO表面二氧化硅层的快速化、精细化刻蚀问题，而且可以实现对浆液用量的精准控制，不会对浆液造成损失。
主权项：1.一种ITO导电玻璃的刻蚀方法，其特征在于，包括如下步骤：S1.将碱性刻蚀浆液装入点胶机的针筒中，设置压力，使碱性刻蚀浆液能够稳定的从点胶机的针筒中压出；S2.针筒固定在点胶机的机械臂的末端上，根据ITO玻璃上的图案需求，在点胶机的控制面板中设置或选择对应图案的运行程序，运行程序控制点胶机的机械臂的运行轨迹，使碱性刻蚀浆液自动的在ITO玻璃的表面上精确绘制需要的图案；S3.绘制完成后，将ITO玻璃加热，清洗烘干后完成刻蚀。
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