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申请/专利权人：杭州盾源聚芯半导体科技有限公司
摘要：一种斜齿硅舟的加工方法，至少包括以下步骤：沟棒加工A、下料及外形加工A1、选取大小适合的硅棒切割出沟棒需要矩形硅条的大小，硅条尺寸基本与沟棒最大外形尺寸相同或略大；A2、对硅条外形进行磨削加工；B、开槽B1、准备开槽冶具进行直槽加工；B2、刀具主轴偏摆一定角度进行斜槽加工；C、倒角C1、准备倒角冶具；C2、根据硅条从开槽步骤到倒角步骤竖直面转动角度计算倒角冶具水平面转动角度并转动倒角冶具；C3、计算刀具偏摆角度；C4、转动刀具到C3中获得的角度，编程对刀进行倒角加工；C5、倒角冶具在水平面上转动恢复到C2步骤的初始位置，更换圆角刀具进行圆角加工，圆角大于倒角。进行天板和法兰加工，从硅锭上切割、开孔和倒角获得天板和法兰，并与沟棒组装到一起形成硅舟。
主权项：1.一种斜齿硅舟的加工方法，其特征在于：至少包括以下步骤：沟棒加工A、下料及外形加工A1、选取大小适合的硅棒切割出沟棒（2）需要矩形硅条的大小，硅条尺寸与沟棒（2）最大外形尺寸相同或略大；A2、对硅条外形进行磨削加工；B、开槽B1、准备开槽冶具（19）进行直槽加工；B2、刀具主轴偏摆一定角度进行斜槽加工；C、倒角C1、准备倒角冶具（23）；C2、根据硅条从开槽步骤到倒角步骤竖直面转动角度计算倒角冶具（23）水平面转动角度并转动倒角冶具（23）；C3、计算刀具偏摆角度；C4、转动刀具到C3中获得的角度，编程对刀进行倒角加工；C5、倒角冶具（23）在水平面上转动恢复到C2步骤的初始位置，更换圆角刀具（66）进行圆角加工；进行天板（3）和法兰（1）加工，从硅锭上切割、开孔和倒角获得天板（3）和法兰（1），并与沟棒（2）组装到一起形成硅舟。
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