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一种5DOF光路控制磁悬浮驱动器 

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申请/专利权人:沈阳工业大学

摘要:一种5DOF光路控制磁悬浮驱动器,该驱动器包括上端盖1、浮子4、径向定子5、连接环6和下端盖7;浮子4位于径向定子5内,浮子4与径向定子之间留有气隙,径向定子5安装在连接环6内,上端盖1和下端盖7分布于连接环6两侧;本发明实施例提供的5DOF光路控制磁悬浮驱动器能够实现五自由度的运动控制,且结构紧凑,具有高响应速度,高精度的特点。

主权项:1.一种5DOF光路控制磁悬浮驱动器,其特征在于:该驱动器包括上端盖(1)、浮子(4)、径向定子(5)、连接环(6)和下端盖(7);浮子4位于径向定子5内,浮子4与径向定子之间留有气隙,径向定子(5)安装在连接环(6)内,上端盖(1)和下端盖(7)分布于连接环(6)两侧;所述径向定子(5)上安装有径向线圈(10),径向线圈(10)为至少四组的偶数的多个组,该多个组的径向线圈(10)均匀的环形阵列在径向定子(5)上,正对的两个线圈形成差动工作方式;所述浮子(4)外缘与径向线圈(10)对应的部分形成线圈对应部,其余部分为非对应部,浮子(4)的非对应部的上端面正对轴向上定子(9),浮子(4)的非对应部的下端面正对轴向下定子(12);上端盖(1)、浮子(4)、径向定子(5)、连接环(6)和下端盖(7)为同轴安装;所述浮子(4)具有不同直径的内扇环(4-1)和外扇环(4-2),内扇环(4-1)的外缘弧面与径向线圈(10)对应作为线圈对应部,外扇环(4-2)作为非对应部,外扇环(4-2)上端面正对轴向上定子(9),外扇环(4-2)的下端面正对轴向下定子(12);所述浮子上还具有减轻浮子质量的弧形槽(4-3);所述连接环(6)上有径向位移传感器(11)的安装位。

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