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申请/专利权人：锐石创芯(重庆)科技有限公司
摘要：本发明公开了一种体声波谐振器、滤波器、多工器及其制作方法，通过合理设置下电极、压电层和上电极和衬底、声反射结构，形成至少一个第一重叠区域，提高了器件的机械强度，保证了可靠性，并且，在压电层中设置了抑制结构，来抑制第一重叠区域中的纵向能量泄露以及横向能量泄露，保证了体声波谐振器整体更好的Q值，实现了可靠性和器件性能的二者兼顾。
主权项：1.一种体声波谐振器，其特征在于，包括：衬底；声反射结构，设置在所述衬底中或者在所述衬底之上；设置在所述衬底和所述声反射结构上的下电极、压电层和上电极；所述衬底、声反射结构、下电极、压电层和上电极的重叠区域形成所述体声波谐振器的有效谐振区，所述下电极、压电层和上电极包括在有效谐振区外形成的至少一个第一重叠区域；所述压电层中包括抑制结构，所述抑制结构至少横向覆盖至少一个所述第一重叠区域，以抑制所述体声波谐振器在至少一个所述第一重叠区域中的纵向能量泄露，所述抑制结构自所述第一重叠区域朝向远离所述有效谐振区的方向延伸；金属层，所述金属层位于所述下电极之上，且与所述抑制结构在纵向投影上至少部分交叠。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 锐石创芯(重庆)科技有限公司 体声波谐振器、滤波器、多工器及其制作方法
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