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一种晶硅熔炉用熔硅液面测距组件及晶硅熔炉 

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申请/专利权人:西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司

摘要:本发明提供一种晶硅熔炉用熔硅液面测距组件及晶硅熔炉,所述晶硅熔炉用熔硅液面测距组件包括:挂钩部,所述挂钩部包括用于插入所述导流筒的安装孔内的横向杆和相对所述横向杆弯折的纵向杆,所述纵向杆包括相对的第一端和第二端,所述横向杆连接在所述纵向杆的所述第一端;接触部,所述接触部包括相对的第三端和第四端,所述第三端连接在所述纵向杆的所述第二端,且所述接触部与所述纵向杆同轴设置;其中,所述横向杆在垂直于该横向杆的轴线方向上的横截面形状为多边形。本发明提供的晶硅熔炉用熔硅液面测距组件及晶硅熔炉,可提高MeltGap测量和控制的准确性。

主权项:1.一种晶硅熔炉用熔硅液面测距组件,安装于晶硅熔炉的导流筒上,用于测量导流筒与熔硅液面之间的距离;其特征在于,所述晶硅熔炉用熔硅液面测距组件包括:挂钩部,所述挂钩部包括用于插入所述导流筒的安装孔内的横向杆和相对所述横向杆弯折的纵向杆,所述纵向杆包括相对的第一端和第二端,所述横向杆连接在所述纵向杆的所述第一端;接触部,所述接触部包括相对的第三端和第四端,所述第三端连接在所述纵向杆的所述第二端,且所述接触部与所述纵向杆同轴设置;其中,所述横向杆在垂直于该横向杆的轴线方向上的横截面形状为多边形;所述挂钩部采用石墨材料制成,所述接触部为采用石英材料制成的石英棒结构,所述纵向杆的外径大于或等于所述接触部的外径。

全文数据:

权利要求:

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