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申请/专利权人：魅杰光电科技(上海)有限公司
摘要：本申请提供一种基于图像清晰度聚焦的方法及装置，其中基于图像清晰度聚焦的方法包括对待量测样品进行光学成像通过粗对焦获取焦面范围，光学成像过程包括样品成像和叠加成像；根据焦面范围通过叠加成像结合压电的精对焦获取焦面位置；若所述焦面位置对应叠加图像的清晰度为最大图像清晰度，则将所述焦面位置对应拍摄图像用于晶圆量测过程。本说明书实施例的光学成像系统仅需简单改进，几乎不占用过多的空间，无需复杂改进。进而光学成像后基于光信号对应的图像来确定目标焦面位置，实现快速、准确自聚焦，以便用于晶圆量测提升量测效率和精度。
主权项：1.一种基于图像清晰度聚焦的装置，其特征在于，所述基于图像清晰度聚焦的装置包括：光栅尺、短焦透镜、长焦透镜、偏振分光棱镜、相机、位移分光棱镜、分光棱镜、光源、压电、物镜；光栅尺同轴设置于两短焦透镜之间，以将光栅尺的透射光转为平行光以获得光栅尺透射成像；沿短焦透镜光路方向在第二短焦透镜之后依次设置第一偏振分光棱镜、分光棱镜、压电、物镜及样品；第一偏振分光棱镜在样品成像光路上依次设置第一光源、起偏器和长焦透镜；分光棱镜在光栅尺透射成像光路上依次设置第二偏振分光棱镜、位移分光棱镜、光栅尺图像成像相机；分光棱镜在样品成像光路上设置于样品成像相机；其中，光栅尺透射成像与样品成像的光路经过第一偏振分光棱镜合束后，在样品成像相机端通过分光棱镜分离；光栅尺透射成像和样品成像通过第二偏振分光棱镜合束后获得叠加成像，以便通过压电的精对焦获取焦面位置，并确定光栅尺成像对应叠加图像的清晰度为最大图像清晰度来确定目标焦面位置；其中，所述光栅尺设置光栅条的宽度以及相邻光栅条的间距，其中透明光栅条或非透明光栅条设置为等长或者非等长。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 魅杰光电科技(上海)有限公司 基于图像清晰度聚焦的方法及装置
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