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申请/专利权人：日清纺微电子株式会社
摘要：一种MEMS元件，该MEMS元件具备：基板1，其具备后腔室9；振动膜3，其包含接合在基板1上的可动电极；以及背板7，其包含与可动电极相对配置的固定电极5，在振动膜3形成有与背板7连结的壁10A、狭缝11a、11b以及多个振动部12A、12B，多个振动部12A、12B存在于由壁10A与振动膜3的接合部包围的区域或壁10A与振动膜3的接合部和振动膜3的周缘部之间的区域中的任一个，至少一个振动部存在于壁10A与振动膜3的接合部和振动膜3的周缘部之间的区域。
主权项：1.一种MEMS元件，所述MEMS元件具备：基板，其具备后腔室；振动膜，其包含接合在所述基板上的可动电极；以及背板，其包含与所述可动电极相对配置的固定电极，其中，所述振动膜具有：壁，其连结所述背板和所述振动膜；狭缝，其沿着与所述壁的接合部或所述振动膜的周缘部中的至少任一个配置；以及多个振动部，所述多个振动部分别存在于i由所述壁与所述振动膜的接合部包围的区域、或ii所述壁与所述振动膜的接合部和所述振动膜的周缘部之间的区域中的任一个，所述多个振动部中的至少一个存在于所述ii的区域。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 日清纺微电子株式会社 MEMS元件
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