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申请/专利权人：青岛方益技术有限公司
摘要：本申请属于半导体制造技术领域，提供一种切割道掩膜图形检测方法，用于检测掩膜版图形中外围切割道的掩膜图形，获取切割道图形信息，根据切割道图形信息获取外围切割道的掩膜图形并记为第一掩膜图形，利用第一掩膜图形拼接形成重叠检测图形，自重叠检测图形中获取叠对区域图像，对叠对区域图像进行图像检测，生成并输出图形重叠信息，有效地提高了检测效率和检测结果准确性，本申请还提供一种切割道掩膜图形检测系统、设备及存储介质，采用上述切割道掩膜图形检测方法进行检测。
主权项：1.一种切割道掩膜图形检测方法，其特征在于，包括以下步骤；获取切割道图形信息；根据所述切割道图形信息，获取第一掩膜图形，所述第一掩膜图形为掩膜版图形中的外围切割道掩膜图形；利用所述第一掩膜图形拼接形成重叠检测图形；自所述重叠检测图形中获取叠对区域图像；对所述叠对区域图像进行图像检测，以生成图形重叠信息；将所述图形重叠信息输出。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 青岛方益技术有限公司 一种切割道掩膜图形检测方法、系统、设备及存储介质
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