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申请/专利权人：中国原子能科学研究院
摘要：本发明公开了一种用于生产He2+的动态ECR离子源放电腔，该ECR离子源放电腔包括：馈入部分、离子源部分、引出部分；馈入部分依次设有微波系统、微波窗、以及进气口；离子源部分包括外层的磁体系统以及内层的放电腔；其特点是：在外层的磁体系统以及内层的放电腔之间还设有直径可调的放电腔内衬，该等离子体电极柱与等离子体电极盘之间为螺纹连接；该等离子体电极柱伸进放电腔的长度能够随着放电腔内衬直径的变化而变化，本发明通过适当减小放电腔的直径进而提高引出的流强，同时改变等离子体电极柱伸入放电腔的距离，从而改变等离子体电极柱所在位置的磁场强度，解决放电腔引出口磁场强度过大时，引出口出现高压打火的现象和束流发射度增大的问题。
主权项：1.一种用于生产He2+的动态ECR离子源放电腔，该ECR离子源放电腔沿着微波入射的方向包括：馈入部分、离子源部分、引出部分；该馈入部分依次设有微波系统1、微波窗3、以及进气口2；该离子源部分包括外层的磁体系统5以及内层的放电腔4；该引出部分包括等离子体电极柱7和放置等离子体电极柱7的等离子体电极盘9、以及束流引出系统中的其他电极8，其特征在于：在外层的磁体系统5以及内层的放电腔4之间还设有放电腔内衬6，且该放电腔内衬6的直径尺寸在设定范围内能够由大到小地调整；用以增加等离子体的密度；该等离子体电极柱7与等离子体电极盘9之间为螺纹连接；该等离子体电极柱7伸进放电腔4的长度能够随着放电腔内衬6直径的变化而变化，用以在增加等离子体密度的同时减弱离子束发射度增加的影响。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国原子能科学研究院 一种用于生产He2+的动态ECR离子源放电腔
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