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一种人造金刚石镀钛装置及方法 

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申请/专利权人:武汉轻工大学

摘要:本发明公开了一种人造金刚石镀钛装置及方法,加热腔,加热腔为圆柱形腔体,其内涂有绝热保温层,加热腔的顶面安装有激光射入窗口,加热腔的两侧安装有X射线窗口,加热腔的侧面安装有法兰盘;真空泵和氩气瓶,真空泵和氩气瓶与所述加热腔之间安装有管道;红外测温仪,红外测温仪与所述加热腔侧面的法兰盘固定安装;激光器,激光器安装在所述加热腔的正上方的激光射入窗口上方并可以发射激光光束。本发明,通过激光对石金刚石颗粒,钛粉,金属盐混合物进行快速加热,X射线实时监测其镀覆情况,并通过加热腔底部XY平台对加热点进行转换,能够更加快速的对金刚石进行镀钛改性,极大的缩短了金刚石镀覆周期,并且能够实时监测其镀覆情况。

主权项:1.一种人造金刚石镀钛装置,其特征在于,包括:加热腔1,加热腔1为圆柱形腔体,其内涂有绝热保温层,加热腔1的顶面安装有激光射入窗口,加热腔1的两侧安装有X射线窗口15,加热腔1的侧面安装有法兰盘;真空泵2和氩气瓶3,真空泵2和氩气瓶3与所述加热腔1之间安装有管道8;红外测温仪4,红外测温仪4与所述加热腔1侧面的法兰盘固定安装;激光器5,激光器5安装在所述加热腔1的正上方的激光射入窗口上方并可以发射激光光束9;X射线发生器6和X射线接收器7,X射线发生器6和X射线接收器7分别安装在所述加热腔1侧面的两个X射线窗口15上方并可以发射和接收X射线10;安装柱11,安装柱11安装在所述加热腔1的内壁底部;活动门12,活动门12安装在所述加热腔1的一侧,加热腔1与所述活动门12之间设置有密封圈,用于密封并保证所述加热腔1内部的真空度;XY移动平台13,XY移动平台13安装在所述安装柱11的顶部,XY移动平台13可以沿着XY轴方向进行驱动;托盘14,托盘14安装在所述XY移动平台13的顶部,用于盛放样品。

全文数据:

权利要求:

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