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液体材料涂布方法及涂布装置 

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申请/专利权人:武藏工业株式会社

摘要:本发明提供即使在规则地配置的工件产生位置偏移的条件下也可进行高精度的涂布的液体材料涂布方法及涂布装置。液体材料涂布方法以规定的涂布图案对包含位置偏移而配置的多个工件10、30进行涂布,具备:水平位置信息测定工序,其利用摄像装置112测定多个工件10、30各自的水平位置信息;高度信息测定工序,其利用距离测定装置113测定多个工件10、30各自的高度信息;及涂布工序,其根据在水平位置信息测定工序中测定的水平位置信息及在上述高度信息测定工序中测定的高度信息,以上述涂布图案对多个工件10、30进行涂布。

主权项:1.一种液体材料涂布方法,其中,是以规定的涂布图案对包含位置偏移而配置的多个工件进行涂布的液体材料涂布方法,具备:水平位置信息测定工序,其利用摄像装置测定所述多个工件各自的水平位置信息;高度信息测定工序,其利用距离测定装置测定所述多个工件各自的高度信息;及涂布工序,其根据在所述水平位置信息测定工序中测定的水平位置信息及在所述高度信息测定工序中测定的高度信息,以所述涂布图案对所述多个工件进行涂布。

全文数据:

权利要求:

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