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申请/专利权人：康宁股份有限公司
摘要：公开了用于获得具有弯曲表面的化学强化CS基板的经校正数字模式光谱的方法和装置。所述方法包括使用具有用于测量平坦CS基板的系统校准的倏逝棱镜耦合系统以数字方式捕获CS基板的横向磁性TM和横向电气TE模式光谱以形成数字模式光谱图像。所述方法进一步包括基于与参考CS基板的参考TM和TE模式光谱相比的以数字方式捕获的TM和TE模式光谱的差异来建立校准校正。将校准校正应用于数字模式光谱图像以形成经校正的数字模式光谱图像，该数字模式光谱图像可使用用于测量平坦CS基板的系统校准进行处理以确定弯曲CS基板的折射率分布和应力特性。
主权项：1.一种获得具有弯曲表面和邻近近表面波导的化学强化CS基板的经校正数字模式光谱的方法，所述方法包括：使用倏逝棱镜耦合系统将测量光耦合进和耦合出近表面波导以形成数字模式光谱图像，来以数字方式捕获所述CS基板的横向磁性TM和横向电气TE模式光谱，所述倏逝棱镜耦合系统具有用于测量平坦CS基板的系统校准；建立校准校正，所述校准校正代表与参考CS基板的参考TM和TE模式光谱相比的以数字方式捕获的TM和TE模式光谱的差异；以及将所述校准校正应用于所述数字模式光谱图像以形成经校正的数字模式光谱，所述经校正的数字模式光谱能使用用于测量平坦CS基板的所述系统校准进行处理。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 康宁股份有限公司 用于表征化学强化弯曲部件中的应力的增强的倏逝棱镜耦合系统和方法
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