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质量分析装置以及质量分析装置的RF调谐方法 

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申请/专利权人:株式会社日立高新技术

摘要:本发明提供一种质量分析装置,在对电极的施加电压存在异常时,能够容易地进行原因部位的区分。在具备四极电极和生成施加于四极电极的高频电压的电源电路200的质量分析装置中,电源电路200具备模拟乘法器205,在RF调谐模式下,反馈模拟乘法器205的输出信号的振幅,在模拟乘法器205的输出信号的振幅被控制为高频电压的目标振幅的状态下,将电源电路生成的高频电压施加于四极电极。

主权项:1.一种质量分析装置,具备四极电极和生成施加于所述四极电极的高频电压的电源电路,其特征在于,所述电源电路具备:高频电压生成控制部,输出设定所述高频电压的目标振幅的目标振幅信号;正弦波生成电路;模拟乘法器,将所述正弦波生成电路生成的正弦波与放大所述正弦波的放大电压相乘;以及第一检波电路,检测所述模拟乘法器的输出信号的振幅,在RF调谐模式下,反馈由所述第一检波电路检测出的所述模拟乘法器的输出信号的振幅,在所述模拟乘法器的输出信号的振幅被控制为由所述高频电压生成控制部设定的所述高频电压的所述目标振幅的状态下,将所述电源电路生成的所述高频电压施加于所述四极电极。

全文数据:

权利要求:

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