买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：北京航空航天大学

摘要：本发明属于半导体器件技术领域，具体涉及一种氧化锌薄膜压电传感器，包括刚性支撑基底，刚性支撑基底提供结构支撑，刚性支撑基底上设有第一电极层，第一电极层上设有氧化锌薄膜，氧化锌薄膜包括氧化锌主组分以及掺杂组分；掺杂组分包括P型掺杂源、N型掺杂源和加工带入掺杂源；各掺杂组分中的所有元素均以氧化物的形式掺杂到氧化锌薄膜中；氧化锌薄膜上设有第二电极层，第二电极层上设有保护层；第一电极层和第二电极层上设置连接线，连接线将传感器与传感器测量电路连接，本发明对工艺参数进行优化，使制备的薄膜组分含量接近预设组分含量，可应用于触摸屏、医疗设备和工业自动化等领域。

主权项：1.一种氧化锌薄膜压电传感器，其特征在于，包括刚性支撑基底，所述刚性支撑基底提供结构支撑，厚度为100~500μm；所述刚性支撑基底上设有第一电极层，第一电极层厚度为50~500nm；所述第一电极层上设有氧化锌薄膜，所述氧化锌薄膜厚度为200-5000nm；氧化锌薄膜的组分包括氧化锌主组分以及掺杂组分；掺杂组分包括P型掺杂源、N型掺杂源和加工带入掺杂源中的一组或多组，P型掺杂源包括含有Mg、Fe、V、Cr中一种或多种元素的掺杂成分，组分含量范围5-35mol%，N型掺杂源包括含有Al、In、Ga中一种或多种元素的掺杂成分，组分含量范围0.1-5mol%，加工带入掺杂源包括含有Zr元素的掺杂成分，组分含量范围为0-0.5mol%；各掺杂组分中的所有元素均以氧化物的形式掺杂到氧化锌薄膜中；所述氧化锌薄膜采用磁控溅射方法得到，根据金属原子的束缚能对各组分进行分组并分别进行靶材制备，并对每一个靶材采用独立的靶枪进行磁控溅射，金属原子的束缚能是指磁控溅射过程中使靶材中的金属原子脱离靶材并成为离位原子态所需的能量；各组分在薄膜中各处的实际含量与其预设含量偏差不高于第一阈值，各组分在薄膜各处的实际含量之间的偏差不高于第二阈值，第一阈值为10%，第二阈值为15%；氧化锌薄膜上设有第二电极层，所述第二电极层厚度为50~500nm；第二电极层上设有保护层，所述保护层厚度为1~10μm；所述第一电极层和第二电极层上设置连接线，所述连接线将传感器与传感器测量电路连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京航空航天大学 一种氧化锌薄膜压电传感器及制备方法