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申请/专利权人：先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要：本申请涉及靶材制备技术领域，公开了一种平面靶材的生产辅助制具，包括用于浇注平面靶材的模具、用于放置模具的放置台，所述放置台为拱形的板状放置台，所述模具放置于放置台上且模具的两侧与放置台之间形成相互对称的容纳空间；所述容纳空间内设有弹性件，所述弹性件在浇注过程中驱使模具以相互对称的容纳空间的对称轴为轴线做交替往复的上下摆动，本申请通过上述设计使得模具在浇注时处于摆动的状态，进而促进靶材内部的气泡和残余应力的充分释放。
主权项：1.一种平面靶材的生产辅助制具，包括用于浇注平面靶材的模具、用于放置模具的放置台，其特征在于，所述放置台为拱形的板状放置台，所述模具放置于放置台上且模具的两侧与放置台之间形成相互对称的容纳空间；所述容纳空间内设有弹性件，所述弹性件在浇注过程中驱使模具以相互对称的容纳空间的对称轴为轴线做交替往复的上下摆动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 先导薄膜材料(广东)有限公司 一种平面靶材的生产辅助制具
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