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申请/专利权人：东莞市塔基特靶材科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种用于靶材加工的真空镀膜装置，涉及镀膜设备技术领域，该用于靶材加工的真空镀膜装置，包括镀膜设备本体，所述镀膜设备本体的表面固定连接有储液箱，镀膜设备本体的内部固定连接有固定杆，固定杆远离镀膜设备本体的一端固定连接有镀膜组件，通过启动镀膜组件对产品进行镀膜处理，镀膜设备本体的内壁固定连接有固定块，该用于靶材加工的真空镀膜装置，通过回流管再次回流进储液箱的内部，进而通过压力泵的启动，使得冷却液不断进行循环流动，对在镀膜过程中产生的热量进行吸收，并将热量通过流动携带走，进而降低加工台表面的温度，避免了在产品镀膜过程中温度过高，对产品的镀膜造成影响。
主权项：1.一种用于靶材加工的真空镀膜装置，包括镀膜设备本体1，其特征在于：所述镀膜设备本体1的表面固定连接有储液箱2，镀膜设备本体1的内部固定连接有固定杆5，固定杆5远离镀膜设备本体1的一端固定连接有镀膜组件6，镀膜设备本体1的内壁固定连接有固定块8，固定块8的表面开设有腔体14，腔体14的内壁转动连接有加工台7，固定块8的表面固定连接有输送管9，固定块8的表面固定连接有回流管10，输送管9、回流管10远离固定块8的一端均贯穿镀膜设备本体1的表面与储液箱2固定连接，且输送管9贯穿至储液箱2的内部，输送管9的另一端贯穿至固定块8的内部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东莞市塔基特靶材科技有限公司 一种用于靶材加工的真空镀膜装置
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