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申请/专利权人：麦斯塔微电子(深圳)有限公司
摘要：本申请提供一种MEMS谐振器，包括衬底、振动体以及外电极；振动体设置于衬底上，振动体包括耦合梁以及振臂，耦合梁的两端分别与相邻的振臂连接，振臂包括第一分臂，第一分臂位于振臂靠近耦合梁的一侧；外电极设置于衬底上，外电极位于振臂远离耦合梁的一侧，外电极与振臂之间具有第一间隙，第一间隙包括第一缝隙和第二缝隙，外电极具有第一电连接部，第一电连接部位于外电极靠近耦合梁的一侧，第一缝隙位于第一分臂与设置有第一电连接部的外电极之间；靠近第二缝隙的第一缝隙的宽度小于远离第二缝隙的第一缝隙的宽度，以提高频率的稳定性。
主权项：1.一种MEMS谐振器，其特征在于，包括：衬底；振动体，设置于所述衬底上，所述振动体包括耦合梁以及振臂，所述耦合梁的两端分别与相邻的所述振臂连接，所述振臂包括第一分臂，所述第一分臂位于所述振臂靠近所述耦合梁的一侧；外电极，设置于所述衬底上，所述外电极位于所述振臂远离所述耦合梁的一侧，所述外电极与所述振臂之间具有第一间隙，所述第一间隙包括第一缝隙和第二缝隙，所述外电极具有第一电连接部，所述第一电连接部位于所述外电极靠近所述耦合梁的一侧，所述第一缝隙位于所述第一分臂与设置有所述第一电连接部的所述外电极之间，所述第二缝隙连接所述第一缝隙；其中，靠近所述第二缝隙的所述第一缝隙的宽度小于远离所述第二缝隙的所述第一缝隙的宽度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 麦斯塔微电子(深圳)有限公司 一种MEMS谐振器
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