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申请/专利权人：江苏集芯先进材料有限公司
摘要：本实用新型公开了一种碳化硅晶体生长炉，包括：炉体，炉体限定出炉腔；反应坩埚、升降杆和液压动力单元，反应坩埚设于炉腔内，升降杆与反应坩埚的底部相连，液压动力单元通过升降杆驱动反应坩埚上下移动；驱动单元和隔热组件，隔热组件水平设置于炉体内，以将炉腔分成沿上下方向排布的生长炉膛和保温炉膛，驱动单元设于炉体外且与备用电源相连，驱动单元用于驱动隔热组件打开或关闭保温炉膛。根据本实用新型的碳化硅晶体生长炉，在遇到突然断电的情况后，反应坩埚会在升降杆的带动下进入保温炉膛内，有利于降低晶锭开裂的风险，在断电修复完成后，晶锭还可以继续生长，有利于减少多晶，提高晶锭的产出率。
主权项：1.一种碳化硅晶体生长炉，其特征在于，包括：炉体，所述炉体限定出炉腔；反应坩埚、升降杆和液压动力单元，所述反应坩埚设于所述炉腔内，所述升降杆与所述反应坩埚的底部相连，所述液压动力单元通过所述升降杆驱动所述反应坩埚上下移动；驱动单元和隔热组件，所述隔热组件水平设置于所述炉体内，以将所述炉腔分成沿上下方向排布的生长炉膛和保温炉膛，所述生长炉膛内设有感应线圈，所述感应线圈环绕所述反应坩埚设置，所述驱动单元设于所述炉体外且与备用电源相连，所述驱动单元用于驱动所述隔热组件打开或关闭所述保温炉膛。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏集芯先进材料有限公司 碳化硅晶体生长炉
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