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申请/专利权人：苏州金沐智能科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种ALD设备的载具结构，其包括舟体与喷淋结构，喷淋结构包括安装在舟体前侧的喷淋板，喷淋板上具有密集分布的喷气口；喷淋结构还包括安装在舟体的旁板上的气道，以及安装在舟体的尾部的对接进气口；气道上阵列排布有多个补气喷头。本实用新型中，第一方面，喷淋板的位置安装相比于安装在炉门上更为合理且方便维护；第二方面，将对接进气口设置在舟尾，可以便于接入反应气体，实际使用时，在镀膜炉的尾部设置对接口，对接口连接供气装置，如此，载具结构完全进入镀膜炉内后，对接进气口即与对接口对接；第三方面，通过在气道上设置补气喷头，可以实现对舟体的中部以及尾部进行补气，使得供气更为均匀，可以保证镀膜质量。
主权项：1.一种ALD设备的载具结构，其特征在于，其包括舟体1与喷淋结构2，所述喷淋结构2包括安装在所述舟体1前侧的喷淋板21，所述喷淋板21上具有密集分布的喷气口22；所述喷淋结构2还包括安装在所述舟体1的旁板11上的气道25，以及安装在所述舟体1的尾部的对接进气口23；所述气道25上阵列排布有多个补气喷头24。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州金沐智能科技有限公司 一种ALD设备的载具结构
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