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申请/专利权人：艾生科(江苏)化工科技有限公司

摘要：本发明属于输送设备技术领域，尤其公开了一种ALD工艺LDS输送装置，包括底架，所述底架内侧设置有传送组件，所述传送组件包括传送带，所述传送带顶部放置有托架，且托架顶部放置有晶片，所述底架顶部放置有两个相对设置的顶架，所述顶架内侧安装有限定托架的夹持组件，所述顶架外侧底部固定有贯穿底架的凸杆，所述凸杆表面套接有弹簧，所述弹簧外侧端连接底架内侧壁，弹簧内侧端连接顶架外侧面底部。本发明通过弹性件的弹力使得两个转板限定夹持晶片，保证晶片在托架顶面的稳定性，避免晶片与托架产生错位移动，避免晶片与托架产生摩擦损伤，保证晶片与托架的同步移动效果。

主权项：1.一种ALD工艺LDS输送装置，包括底架（1），其特征在于：所述底架（1）内侧设置有传送组件，所述传送组件包括传送带（2），所述传送带（2）顶部放置有托架（3），且托架（3）顶部放置有晶片（4），所述底架（1）顶部放置有两个相对设置的顶架（5），所述顶架（5）内侧安装有限定托架（3）的夹持组件，所述顶架（5）外侧底部固定有贯穿底架（1）的凸杆（6），所述凸杆（6）表面套接有弹簧（7），所述弹簧（7）外侧端连接底架（1）内侧壁，弹簧（7）内侧端连接顶架（5）外侧面底部，弹簧（7）的弹力使得两个顶架（5）均利用夹持组件限定托架（3），所述传送带（2）带动托架（3）和夹持组件同步移动；所述夹持组件包括移动架（11），所述移动架（11）外侧面中心处固定有滑板（12），所述顶架（5）整体外形设置为L型结构，所述顶架（5）包括竖板和横板，移动架（11）外侧面与竖板内侧面贴合，滑板（12）对应放置在横板顶面，所述顶架（5）的横板顶部固定有两个并列设置的横杆（13），所述横杆（13）贯穿滑板（12），移动的移动架（11）利用滑板（12）在顶架（5）的横杆（13）表面滑动；所述移动架（11）内侧面设置有内槽，所述内槽内部固定有竖杆（14），所述夹持组件还包括架块（15），所述架块（15）套接于竖杆（14）表面，且架块（15）利用竖杆（14）对应卡扣在内槽内部，所述架块（15）内侧固定内框（16），架块（15）和内框（16）一体化设置，且内框（16）底面与传送带（2）顶面贴合，相对的两个内框（16）对应卡扣在托架（3）两端，内框（16）顶面连接气缸输出端；所述架块（15）顶部设置有压板（17），所述压板（17）处于内槽内部，且压板（17）滑动套接于竖杆（14）表面，所述竖杆（14）表面套接有弹性件（18），所述弹性件（18）底端连接压板（17）顶面，所述移动架（11）顶端开口卡扣有盖板（19），且盖板（19）顶端贯穿有螺杆（20），螺杆（20）底端螺旋卡接在竖杆（14）顶端，且弹性件（18）顶端与盖板（19）底面贴合，弹性件（18）处于压缩状态；所述夹持组件包括转板（21），转板（21）底端与托架（3）顶面贴合，转板（21）顶端铰接于压板（17）内侧端，所述转板（21）底端两侧均设置有侧架（22），两个侧架（22）之间通过内杆（23）固定连接，内杆（23）处于侧架（22）内侧端，且转板（21）底端套接于内杆（23）表面，相对的两个转板（21）底端分别对应晶片（4）两端。

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