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申请/专利权人：艾生科(江苏)化工科技有限公司
摘要：本发明属于输送设备技术领域，尤其公开了一种ALD工艺LDS输送装置，包括底架，所述底架内侧设置有传送组件，所述传送组件包括传送带，所述传送带顶部放置有托架，且托架顶部放置有晶片，所述底架顶部放置有两个相对设置的顶架，所述顶架内侧安装有限定托架的夹持组件，所述顶架外侧底部固定有贯穿底架的凸杆，所述凸杆表面套接有弹簧，所述弹簧外侧端连接底架内侧壁，弹簧内侧端连接顶架外侧面底部。本发明通过弹性件的弹力使得两个转板限定夹持晶片，保证晶片在托架顶面的稳定性，避免晶片与托架产生错位移动，避免晶片与托架产生摩擦损伤，保证晶片与托架的同步移动效果。
主权项：1.一种ALD工艺LDS输送装置，包括底架（1），其特征在于：所述底架（1）内侧设置有传送组件，所述传送组件包括传送带（2），所述传送带（2）顶部放置有托架（3），且托架（3）顶部放置有晶片（4），所述底架（1）顶部放置有两个相对设置的顶架（5），所述顶架（5）内侧安装有限定托架（3）的夹持组件，所述顶架（5）外侧底部固定有贯穿底架（1）的凸杆（6），所述凸杆（6）表面套接有弹簧（7），所述弹簧（7）外侧端连接底架（1）内侧壁，弹簧（7）内侧端连接顶架（5）外侧面底部，弹簧（7）的弹力使得两个顶架（5）均利用夹持组件限定托架（3），所述传送带（2）带动托架（3）和夹持组件同步移动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 艾生科(江苏)化工科技有限公司 一种ALD工艺LDS输送装置
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