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申请/专利权人：成都紫光半导体科技有限公司
摘要：本公开涉及一种用于LDS设备的排放装置，所述排放装置包括第一真空泵和第二真空泵，所述第一真空泵和所述第二真空泵分别连接于分歧管，所述分歧管连接有多条并联的分管路，其中，所述分管路用于与所述LDS设备的钢瓶连通。该排放装置能够解决多台LDS设备同时使用时对真空泵的需求量大的问题。
主权项：1.一种用于LDS设备的排放装置，其特征在于，所述排放装置包括并联的第一真空泵和第二真空泵，所述第一真空泵和所述第二真空泵分别连接于分歧管，所述分歧管连接有多条并联的分管路，其中，所述分管路用于与所述LDS设备的钢瓶连通，所述排放装置包括理线结构，所述理线结构用于收纳多条并联的所述分管路。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 成都紫光半导体科技有限公司 用于LDS设备的排放装置
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