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申请/专利权人：青岛海通达微电子有限公司
摘要：本实用新型涉及废气净化技术领域，公开了一种用于扩散炉的废气排放装置，所述冷却罐的罐体上端导通连接有进气组件，所述冷却罐的罐体内部安装有导热换热组件，所述喷淋罐的罐体底部安装有延伸其内部的雾化喷淋组件，且喷淋罐的罐体内部安装有贯通喷淋罐的排气管。本实用新型通过将进气组件与扩散炉尾气管道相连，将废气抽送至冷却罐内，经第一滤板对废气中杂质进行初步过滤，而后利用导热换热组件的导通输送，将废气中的高温热量热导传递，提高热量的回收利用性，继而经雾化喷淋组件对废气进行再次的雾化喷淋沉降，将废气中的小颗粒杂质再次吸附沉降，而经双重过滤后的洁净废气通过排气管排出，完成净化排放工作。
主权项：1.一种用于扩散炉的废气排放装置，其特征在于，包括冷却罐1以及安装于冷却罐1罐体底部的喷淋罐2；所述冷却罐1的罐体上端导通连接有进气组件，且冷却罐1的罐体上部端口安装有第一滤板13，所述冷却罐1的罐体内部安装有导热换热组件；所述喷淋罐2的罐体底部安装有延伸其内部的雾化喷淋组件，且喷淋罐2的罐体内部安装有贯通喷淋罐2的排气管4，所述喷淋罐2的罐体内部正对于排气管4的底部管口安装有第二滤板19。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 青岛海通达微电子有限公司 一种用于扩散炉的废气排放装置
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