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申请/专利权人：浙江求是创芯半导体设备有限公司
摘要：本实用新型公开了一种工装组件，工装组件用于工装原子层沉积设备，原子层沉积设备包括喷淋盘、进气组件和安装连接板，工装组件包括底板、支柱、固定部和用于限位安装连接板的定位块，支柱连接在底板的上侧，固定部固定连接在支柱的上侧；底板、支柱和固定部之间形成有用于卡接喷淋盘的卡接空间，定位块位于固定部的上侧并与固定部固定连接，定位块至少部分位于安装连接板中，安装连接板的下侧抵接在喷淋盘上并与喷淋盘连接。通过上述设置，可以将喷淋盘、安装连接板和进气组件进行组装，以提高喷淋盘、安装连接板和进气组件之间的装配精度，从而有利于提高原子层沉积设备的装配精度。
主权项：1.一种工装组件，所述工装组件用于工装原子层沉积设备100，所述原子层沉积设备100包括喷淋盘11、进气组件12和安装连接板13，所述喷淋盘11和所述进气组件12均连接在所述安装连接板13上，沿所述原子层沉积设备100的高度方向，所述喷淋盘11连接所述安装连接板13的下侧，所述进气组件12连接在所述安装连接板13的上侧；其特征在于，所述工装组件包括底板21、支柱22、固定部23和用于限位所述安装连接板13的定位块25，所述支柱22连接在所述底板21的上侧，所述固定部23固定连接在所述支柱22的上侧；所述底板21、所述支柱22和所述固定部23之间形成有用于卡接所述喷淋盘11的卡接空间201，所述定位块25位于所述固定部23的上侧并与所述固定部23固定连接，所述定位块25至少部分位于所述安装连接板13中，所述安装连接板13的下侧抵接在所述喷淋盘11上并与所述喷淋盘11连接。
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