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申请/专利权人:成都贡爵微电子有限公司
摘要:本发明提供了一种用于三维MCM的隔板的制作方法,包括以下步骤:S1、采用隔板材料制作根据MCN尺寸的隔板;S2、隔板通过注塑、打孔、金属填孔、印制焊盘、叠层、热压、生切和烧结的工序制成;或者隔板通过层压、打孔、金属填孔、印制焊盘、叠层、热压、生切和烧结的工序制成;或者隔板通过激光切割、打孔、金属填孔、印制焊盘、叠层、热压、生切和烧结的工序制成;S3、隔板内有电互连金属化通孔,表面覆盖有焊盘,用于焊接与制作焊料凸点,焊盘既起电互连也起机械互连的作用;在电互连点较少时,也可以使用不连通孔的焊盘;本发明通过本方法,使隔板在经历高温工作环境下仍保持结构的稳定性和功能性,适用于三维MCM的垂直互连和元器件的保护。
主权项:1.一种用于三维MCM的隔板的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:S1、采用隔板材料制作根据MCN尺寸的隔板;S2、隔板通过注塑、打孔、金属填孔、印制焊盘、叠层、热压、生切和烧结的工序制成;或者隔板通过层压、打孔、金属填孔、印制焊盘、叠层、热压、生切和烧结的工序制成;或者隔板通过激光切割、打孔、金属填孔、印制焊盘、叠层、热压、生切和烧结的工序制成;S3、隔板内有电互连金属化通孔,表面覆盖有焊盘,用于焊接与制作焊料凸点,焊盘既起电互连也起机械互连的作用;在电互连点较少时,也可以使用不连通孔的焊盘;S4、选择适当的拼接材料研磨成粉状,加入相应的溶剂调成浆料形式。S5、将单块隔板按设计方位放置在平面垫板上,在拼接处用小毛笔或小软刷涂覆拼接用浆料,涂覆厚度如0.1mm、0.2mm或0.3mm,拼接后施加一定压力,并去除多余浆料,避免污染焊盘;S6、将拼接的隔板初步固定后,放在特定温度下烘干,然后放入烧结炉中烧结。
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权利要求:
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