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基于双芯结构的复合膜PQF-SPR甲烷传感器 

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申请/专利权人:东北石油大学

摘要:本发明涉及一种光纤甲烷传感器,具体涉及一种基于双芯结构的复合膜PQF‑SPR甲烷传感器,光纤的包层内设有按照八重Penrose型光子准晶结构排布的空气孔,其中第一层、第二层和第四层为小空气孔,第二层的两个小空气孔位于X轴上,该层在Y轴上没有空气孔的两个孔位为纤芯;第三层的空气孔中位于Y轴正半轴和负半轴的纤芯的上方和下方的两个空气孔为大空气孔;位于第四层空气孔的包层上抛磨有垂直于Y轴的两个平面,位于Y轴上的平面上开有半圆孔槽;孔槽内镀有氧化锌膜和金膜,金膜的表面和平面上涂覆有甲烷敏感薄膜。该传感器在测量范围内具有较高的灵敏度,其传感器结构简单,无需在光纤内部传感,降低了镀膜难度,利于加工。

主权项:1.一种基于双芯结构的复合膜PQF-SPR甲烷传感器,其特征在于:所述双芯结构的复合膜PQF-SPR甲烷传感器为光子准晶体光纤,光纤的包层内设有按照八重Penrose型光子准晶结构排布的四层空气孔,其中第一层、第二层和第四层为小空气孔(4),第二层的两个小空气孔位于X轴上,该层在Y轴上没有空气孔的两个孔位为纤芯(1);第三层的空气孔中位于Y轴正半轴的纤芯的上方的两个空气孔为大空气孔(3),位于Y轴负半轴的纤芯的下方两个空气孔为大空气孔(3),第三层其余的四个空气孔为小空气孔(4);位于第四层空气孔的包层上抛磨有垂直于Y轴的两个平面(6),位于Y轴上的平面上开有半圆孔槽(5),半圆孔槽(5)的两侧无空气孔;所述半圆孔槽(5)内镀有氧化锌膜(7)和金膜(8),金膜(7)的表面和平面(6)上涂覆有甲烷敏感薄膜(9);所述光子准晶体光纤的半径为9μm,其晶格常数L为3μm,所述大空气孔(3)的直径为2.5μm,小空气孔(4)直径为2.1μm,半圆孔槽的半径为1.075μm;所述的两个平面(6)之间的宽度为14μm;所述氧化锌膜(7)的厚度为10nm,所述金膜(8)的厚度为27nm,所述甲烷敏感薄膜(9)的厚度为500nm。

全文数据:

权利要求:

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