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申请/专利权人:麦斯塔微电子(深圳)有限公司
摘要:本申请提供一种MEMS压电谐振器,包括至少一振动体和锚固结构,振动体包括振动主体以及辅助结构,振动主体包括至少一第一振动部、至少一第二振动部、至少一第三振动部以及至少一第四振动部,第一振动部的首端、第二振动部的首端、第三振动部的首端均与第四振动部的首端连接,第三振动部位于第一振动部与第二振动部之间,第四振动部位于第一振动部与第二振动部之间且背离第三振动部的一侧,第一振动部的末端、第二振动部的末端、第三振动部的末端以及第四振动部的末端连接有辅助结构,其中,振动主体与辅助结构以相同的频率同时振动;锚固结构通过连接杆与振动体连接,以提高MEMS压电谐振器的Q值。
主权项:1.一种MEMS压电谐振器,其特征在于,包括:至少一振动体,包括振动主体以及辅助结构,所述振动主体包括至少一第一振动部、至少一第二振动部、至少一第三振动部以及至少一第四振动部,所述第一振动部的首端、所述第二振动部的首端、所述第三振动部的首端均与所述第四振动部的首端连接,所述第三振动部位于所述第一振动部与所述第二振动部之间,所述第四振动部位于所述第一振动部与所述第二振动部之间且背离所述第三振动部的一侧,所述第一振动部的末端、所述第二振动部的末端、所述第三振动部的末端以及所述第四振动部的末端连接有所述辅助结构,其中,所述振动主体与所述辅助结构以相同的频率同时振动;锚固结构,通过连接杆与所述振动体连接。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 麦斯塔微电子(深圳)有限公司 一种MEMS压电谐振器
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