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行列寻址的柔性面阵超声换能器阵列及其制备方法 

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申请/专利权人:上海科技大学

摘要:本申请提供行列寻址的柔性面阵超声换能器阵列及其制备方法,相比传统的超声换能器阵列结构刚性、体积大、使用局限等问题,柔性超声换能器阵列结构轻薄、可以紧密地贴合于复杂曲面、不需要专业人员操作就可以实现长时间的超声检测或治疗,拓展了应用领域,而且具有良好的声学性能、电学性能和机械性能。此外,相对于传统全连接的设计方案,行列寻址方式可以使一个N×N面阵探头的信号线连接数目从N2个减少到2N个,极大地降低了面阵探头的研制难度。

主权项:1.一种柔性面阵超声阵列的制备方法,其特征在于,包括:制备柔性超声换能器阵列,其包括:选用压电陶瓷作为换能器的核心材料,基于精密切割工艺对压电陶瓷材料进行切割,以形成N行N列的换能器阵元;在所述换能器阵元之间填充液态柔性材料作为柔性填充物,固化后形成柔性超声换能器阵列;制备柔性电极,其包括:采用电极加工工艺制作形成若干金属电极,将所述若干金属电极转印至柔性填充物衬底上,并使用导电胶将超声换能器阵列的阵元粘接至电极连接点;封装柔性超声换能器阵列,其包括:用液态柔性材料进行整体封装,固化后完成封装。

全文数据:

权利要求:

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