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申请/专利权人：意子科技私人投资有限公司
摘要：本发明提供一种电容调谐的光微机电结构，包括悬浮质量块、刚性块体、电容器、多条悬浮系链、光子晶体微腔及悬浮光波导，其中，电容器的第一电容端固定于悬浮质量块，第二电容端固定于刚性块体。本发明的光微机电结构使用电容调制的方法来调制光学微腔，电容调制的方式可以是平行板电容调制，也可以是梳齿电容调制，从而实现对光学微腔共振波长的主动调谐，可对光刻工艺生产的光学微腔进行校正，使得光子晶体微腔的实际共振波长与设计的工作波长完好匹配。另外，本发明使用电容调制还可以对因为工作环境的变化导致的共振波长的偏移进行调整、使得光子晶体微腔能够匹配不同的入射波长。本发明还可以调整系统机械共振频率，从而调整系统的工作带宽。
主权项：1.一种电容调谐的光微机电结构，其特征在于，包括：悬浮质量块；刚性块体，位于所述悬浮质量块的Y方向第一侧并与所述悬浮质量块间隔设置；电容器，包括在Y方向上间隔设置的第一电容端与第二电容端，所述第一电容端固定于所述悬浮质量块，所述第二电容端固定于所述刚性块体；多条悬浮系链，分布于所述悬浮质量块的X方向两侧并与所述悬浮质量块连接，所述X方向与所述Y方向相互垂直；光子晶体微腔，包括第一悬浮光子晶体与第二悬浮光子晶体，所述第一悬浮光子晶体固定于所述悬浮质量块，所述第二悬浮光子晶体位于所述第一悬浮光子晶体远离所述悬浮质量块的一侧并与所述第一悬浮光子晶体间隔设置；悬浮光波导，位于所述光子晶体微腔远离所述悬浮质量块的一侧并与所述光子晶体微腔间隔设置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 意子科技私人投资有限公司 一种电容调谐的光微机电结构
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