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申请/专利权人：中国科学院半导体研究所
摘要：本公开提供了一种面内拉伸模态射频微机电谐振器，包括：谐振单元，工作于面内拉伸模态下；定义谐振单元由在面内拉伸模态下的谐振振动而产生位移量变化的边缘位置为振动部；支撑单元，包括支撑梁和基座；支撑梁包括形成复合结构的直梁和框型梁；支撑梁用于支撑谐振单元；基座与支撑梁相连，用于维持谐振单元的悬空；电极，设置于谐振单元的振动部处，用于驱动和检测谐振单元进行谐振振动的换能结构。本发明提供的面内拉伸模态射频微机电谐振器基于面内拉伸模态，热弹性损耗和介质损耗低；支撑梁为复合结构，减小了谐振器的支撑损耗，进一步提高Q值，可用于构建多种高性能射频器件。
主权项：1.一种面内拉伸模态射频微机电谐振器，其特征在于，包括：谐振单元，工作于面内拉伸模态下，所述谐振单元的面内几何形状呈圆角化的矩形，所述谐振单元包括两个对称的长侧部和两个对称的短侧部；其中，谐振单元在与短侧部平行的方向上做压缩和扩张运动，定义所述谐振单元由在所述面内拉伸模态下的谐振振动而产生位移量变化的边缘位置为振动部，所述谐振单元的非振动部上包括位移节点；支撑单元，包括支撑梁和基座；其中，所述支撑梁包括形成复合结构的直梁和框型梁；其中，所述支撑梁用于支撑所述谐振单元；其中，所述直梁的一端连接于所述谐振单元的位移节点上；所述直梁的另一端与所述框型梁相连；所述框型梁与所述基座相连，用于维持所述谐振单元的悬空；电极，设置于所述谐振单元的振动部处，用于驱动和检测所述谐振单元进行谐振振动的换能结构。
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权利要求：
百度查询： 中国科学院半导体研究所 面内拉伸模态射频微机电谐振器
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