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申请/专利权人：中国人民解放军国防科技大学
摘要：本申请涉及一种多层射频相变开关。所述多层射频相变开关包括：将传统相变开关结构中的散热层、加热层、相变材料层、金属层、散热层定义为相变‑加热材料层。本发明在衬底、衬底隔离层之上，多层堆叠相变‑加热材料层构成多层相变‑加热材料层，其中，多层相变材料层之间采用金属过孔互连。本发明通过并联相变材料降低导通电阻，同时没有增大相变材料加热块体积从而不会降低切换速度，这解决了相变开关提升切换速度与降低导通电阻间需求矛盾的问题。
主权项：1.一种多层射频相变开关，其特征在于，所述多层射频相变开关自下而上依次包括：衬底、衬底隔离层和多层相变-加热材料层；所述多层相变-加热材料层由多层堆叠的相变-加热材料层构成；所述相变-加热材料层自下而上依次包括加热层、第一散热层、相变材料层、金属层和第二散热层；在衬底隔离层之上，多层堆叠相变-加热材料层，多层相变材料层之间采用金属过孔互连，通过并联所述相变-加热材料层降低导通电阻，同时没有增大相变材料加热块体积从而不会降低切换速度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国人民解放军国防科技大学 多层射频相变开关
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