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申请/专利权人：汕头大学
摘要：本发明涉及微位移传感器技术领域，公开一种基于游标效应的微位移传感器及检测系统、制备系统。微位移传感器包括：单模光纤、接触探头和弹性支架。弹性支架的一端与单模光纤的第一端面连接，弹性支架的另一端与接触探头的第二端面一体化连接，以形成空气腔；通过空气腔，第一端面形成第一光反射面，第二端面形成第二光反射面；通过外界物质，接触探头的第三端面形成第三光反射面；第一光反射面和第二光反射面间形成开放式弹性法布里‑泊罗谐振腔，第二光反射面和第三光发射面间形成封闭式法布里‑泊罗谐振腔，以组成串联型双法布里‑泊罗谐振腔，实现在器件的反射光谱中激发游标效应。传感器的光纤探头小型化，空间灵活性高，便于集成，灵敏度高。
主权项：1.一种基于游标效应的微位移传感器，其特征在于，包括：单模光纤，所述单模光纤具有第一端面；接触探头，所述接触探头具有第二端面和第三端面；弹性支架，所述弹性支架的一端与所述第一端面连接，所述弹性支架的另一端与第二端面一体化连接，以形成空气腔；其中，通过所述空气腔，所述第一端面形成第一光反射面，所述第二端面形成第二光反射面；通过外界物质，所述第三端面形成第三光反射面；所述第一光反射面和第二光反射面之间形成开放式弹性法布里-泊罗谐振腔，所述第二光反射面和第三光发射面之间形成封闭式法布里-泊罗谐振腔，以组成串联型双法布里-泊罗谐振腔。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 汕头大学 基于游标效应的微位移传感器及检测系统、制备系统
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