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用于执行衍射测量的方法和系统 

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申请/专利权人:深圳帧观德芯科技有限公司

摘要:本文公开了一种用于执行衍射测量的方法。所述方法包括:向物体发送第一辐射束;利用图像传感器的多个有效区域的第一部分,拍摄第一辐射束被物体衍射所产生的衍射图样的多个图像;向多个校准图样发送第二辐射束;利用图像传感器的多个有效区域的第二部分,基于第二辐射束和多个校准图样之间的相互作用,拍摄多个校准图样的图像,其中,多个第二部分中的每个第二部分拍摄多个校准图样中的至少一个校准图样的图像;以及基于衍射图样的多个图像和多个校准图样的图像来确定物体的晶体结构。多个第一部分和多个第二部分不重叠。

主权项:1.一种方法,包括:向物体发送第一辐射束;利用系统的图像传感器的M个有效区域的M个第一部分,拍摄由所述第一辐射束被所述物体衍射所产生的衍射图样的N个图像,其中,M和N为正整数;向P个校准图样发送第二辐射束,P为正整数;利用所述图像传感器的所述M个有效区域的M个第二部分,基于所述第二辐射束和所述P个校准图样之间的相互作用,拍摄所述P个校准图样的图像,其中,所述M个第二部分中的每个第二部分拍摄所述P个校准图样中的至少一个校准图样的图像;以及基于A所述衍射图样的所述N个图像和B所述P个校准图样的所述图像,确定所述物体的晶体结构,其中,所述M个有效区域的所有传感元件中,无传感元件同时在A所述M个第一部分中的一个第一部分和B所述M个第二部分中的一个第二部分中。

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