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申请/专利权人：浙江创芯集成电路有限公司
摘要：一种生产加工信息录入方法及装置、存储介质、设备。所述方法包括：采集待加工晶圆的加工相关信息；基于所采集的加工相关信息得到对应的二维码图形；扫描所述二维码图形，得到对应的生产加工信息，所述生产加工信息用于录入至所述生产操作系统中，以指导所述生产操作系统对所述待加工晶圆的生产操作。采用上述方案，可以提高生产加工信息的录入效率，以降低晶圆受损概率。
主权项：1.一种生产加工信息录入方法，其特征在于，包括：采集待加工晶圆的加工相关信息，所述加工相关信息包括：待加工晶圆的标识信息，以及每一片晶圆需要执行的工艺流程信息；基于所采集的加工相关信息得到对应的二维码图形，所述二维码图形中包括：各工艺流程信息，以及各工艺流程信息对应的待加工晶圆标识信息，其中至少两个以上待加工晶圆的工艺流程不同；扫描所述二维码图形，得到对应的生产加工信息，所述生产加工信息用于录入至生产操作系统中，以指导所述生产操作系统对所述待加工晶圆的生产操作；所述基于所采集的加工相关信息得到对应的二维码图形，包括：对所采集的加工相关信息进行识别；对识别得到的信息进行核实；基于核实结果，得到所述生产加工信息；将所述生产加工信息集成到二维码上，得到对应的二维码图形；所述对识别得到的信息进行核实，包括：判断所述生产操作系统是否满足生产要求，所述判断所述生产操作系统满足生产要求包括：判断所述生产操作系统能否满足所述识别得到的信息对应的工艺流程；响应于所述生产操作系统满足生产要求，基于所述识别得到的信息，得到所述生产加工信息，所述基于所述识别得到的信息，得到所述生产加工信息，包括：基于所述识别得到的信息，确定是否需要调整生产操作系统的工艺流程；响应于需要调整生产操作系统的工艺流程，基于调整后的工艺流程，更新所述识别得到的信息，并将更新后的信息作为所述生产加工信息；响应于不需要调整生产操作系统的生产状态，将所述识别得到的信息作为所述生产加工信息；响应于所述生产操作系统不满足生产要求，重新采集晶圆的加工相关信息。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江创芯集成电路有限公司 生产加工信息录入方法及装置、存储介质、设备
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