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一种带有产品种类分区隔离结构的载盘 

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申请/专利权人:芯云半导体(诸暨)有限公司

摘要:本实用新型涉及芯片加工技术领域,具体为一种带有产品种类分区隔离结构的载盘,包括承载载盘和插接固定机构,所述承载载盘的顶端面安装有四个宫格分隔罩板,所述承载载盘的前端面固定安装有把手,每个所述宫格分隔罩板的底端均固定有插接底板,每个所述宫格分隔罩板的四个内壁中均设有隔热调节装配机构;所述承载载盘的顶端面上开设有四个芯片放置槽,每个所述芯片放置槽四周均设有插接底槽,所述插接底槽开设在承载载盘的端面上。本实用新型通过在承载载盘内产品种类区隔的设置,大大降低了生产成本,提高了生产销率,能够简单明了的达到想要的目的,可以在烘烤时进行不同批次、不同种类芯片的区分。

主权项:1.一种带有产品种类分区隔离结构的载盘,包括:承载载盘(1)和插接固定机构(7),其特征在于,所述承载载盘(1)的顶端面安装有四个宫格分隔罩板(2),所述承载载盘(1)的前端面固定安装有把手(3),每个所述宫格分隔罩板(2)的底端均固定有插接底板(4),每个所述宫格分隔罩板(2)的四个内壁中均设有隔热调节装配机构(8);所述承载载盘(1)的顶端面上开设有四个芯片放置槽(5),每个所述芯片放置槽(5)四周均设有插接底槽(6),所述插接底槽(6)开设在承载载盘(1)的端面上。

全文数据:

权利要求:

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