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申请/专利权人：沈阳佳泽半导体材料有限公司
摘要：本实用新型公开了一种石英舟清洗装置，包括壳体，所述壳体内设有清洗腔，所述壳体侧壁规定设有支架，所述支架前壁设有电动滑轨，所述电动滑轨上设有电动滑块，所述电动滑块侧壁固定安装有升降板，所述升降板上壁设有第一电机，所述第一电机驱动端贯穿升降板且安装有主齿轮，本实用新型涉及石英舟清洗技术领域，本装置结构紧凑，通过电动滑轨配合电动滑块可带动升降板以及多个清洗笼上下运动，方便装取工件以及清洗工作的进行，清洗时，第一电机带动主齿轮转动，与其啮合的多个副齿轮会带动下方的清洗笼同步转动，配合驱动机构带动喷淋管以及喷头旋转，可实现多个工件的同步清洗，有效提高了清洗效率，给人们的使用带来了方便。
主权项：1.一种石英舟清洗装置，包括壳体1，所述壳体1内设有清洗腔，其特征在于，所述壳体1侧壁规定设有支架2，所述支架2前壁设有电动滑轨3，所述电动滑轨3上设有电动滑块4，所述电动滑块4侧壁固定安装有升降板5，所述升降板5上壁设有第一电机6，所述第一电机6驱动端贯穿升降板5且安装有主齿轮7，所述升降板5下壁沿主齿轮7周向位置转动安装有若干转杆8，所述转杆8下端安装有清洗笼9，所述转杆8上安装有与所述主齿轮7啮合的副齿轮10，所述壳体1内底部设有喷淋组件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 沈阳佳泽半导体材料有限公司 一种石英舟清洗装置
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