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申请/专利权人：江苏微导纳米科技股份有限公司
摘要：本申请公开了一种上下料系统、载料舟及吸盘组件。其中，上下料系统包括载料舟、花篮以及吸盘组件，吸盘组件用于在载料舟和花篮之间搬运基片，其中，载料舟设有沿着第一方向设置的多组工位，每组工位用于承载M个基片，花篮用于承载N个基片，M与N不相等。通过上述方式，能够完成载料舟与花篮内承载的基片的数量的转换，提高基片装载的效率，提高上下料系统的产能。
主权项：1.一种上下料系统，其特征在于，包括载料舟、花篮以及吸盘组件，所述吸盘组件用于在所述载料舟和所述花篮之间搬运基片，其中，所述载料舟设有沿着第一方向设置的多组工位，每组所述工位用于承载M个所述基片，所述花篮用于承载N个所述基片，所述M与所述N不相等。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏微导纳米科技股份有限公司 一种上下料系统、载料舟及吸盘组件
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