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申请/专利权人：北京晶亦精微科技股份有限公司
摘要：本实用新型公开了一种基板清洗装置及基板清洗系统，用于清洗基板，包括升降驱动件、第一传动组件、清洗组件以及压力传感器；第一传动组件的第一端与升降驱动件连接，第二端装设有清洗组件，压力传感器设于第一传动组件的第二端和清洗组件之间，以检测并反馈所述基板通过所述清洗组件施加给所述压力传感器的压力；当所述压力传感器检测到的压力值到达预设压力值时，所述升降驱动件停止驱动所述第一传动组件朝所述基板移动。力的传递更加直接、损耗也更小，进而使得压力传感器的检测更加准确；再者，通过清洗组件对压力传感器的压力进行清洗力检测更准确；另外，相比采用弹性件的设计，可节省更换弹性件的成本，以及减少清洗力波动，保证清洗效果。
主权项：1.一种基板清洗装置，用于清洗基板1，其特征在于，包括升降驱动件2、第一传动组件3、清洗组件4以及压力传感器34；所述第一传动组件3的第一端与所述升降驱动件2连接，第二端装设有所述清洗组件4，所述压力传感器34设于所述第一传动组件3的第二端和所述清洗组件4之间，以检测并反馈所述基板1通过所述清洗组件4施加给所述压力传感器34的压力；当所述压力传感器34检测到的压力值到达预设压力值时，所述升降驱动件2停止驱动所述第一传动组件3朝所述基板1移动。
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