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一种基于半解析有限元理论的FBAR奇异模态振型的成像方法 

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申请/专利权人:浣江实验室

摘要:本发明提供了一种基于半解析有限元理论的FBAR奇异模态振型的成像方法,包括以下步骤:步骤S1、构建复杂电极构型FBAR的半解析有限元列式;步骤S2、采用三角形单元对FBAR上表面进行网格划分,获取各个网格单元中三个节点的坐标;步骤S3、根据节点坐标,确定每个网格单元的插值形函数以及刚度矩阵和质量矩阵;本发明基于半解析有限元理论,来表征三维FBAR超高频下的模态振型,将三维FBAR器件的三维模态振动成像,降维至二维平面成像,单元类型的简化和单元数量的大幅减小使得本发明提供的成像技术时间成本更低,同时不需要在商业有限元软件中的各种参数设置和后处理,实现了对FBAR模态振型的快速且定量化成像。

主权项:1.一种基于半解析有限元理论的FBAR奇异模态振型的成像方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤S1、构建复杂电极构型FBAR的半解析有限元列式;步骤S2、采用三角形单元对FBAR上表面进行网格划分,获取各个网格单元中三个节点的坐标;步骤S3、根据节点坐标,确定每个网格单元的插值形函数以及刚度矩阵和质量矩阵;步骤S4、基于每个网格单元的刚度矩阵和质量矩阵,组装得到总刚度矩阵和总质量矩阵,并求解得到FBAR的谐振频率;步骤S5、根据FBAR的谐振频率,计算得到每个网格单元中所有节点的位移矢量,结合每个网格单元的插值形函数,得到FBAR每个节点的厚度拉伸模态位移,绘制对应谐振频率的模态振型。

全文数据:

权利要求:

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